[发明专利]一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺有效
| 申请号： | 201710150106.3 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN106949837B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 杨志军;李彦锋;陈新;陈桪;高健 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阶梯 光电 传感器 阵列 灵敏度 光栅尺 | ||
【权利要求书】：
1.一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺，包括平面光源(1)以及垂直平面光源(1)的照射方向并沿平面光源(1)的照射方向依次排列的光学透镜(3)、标尺光栅(2)、光电传感器阵列(4)，其特征在于：所述光电传感器阵列(4)在光栅尺的宽度方向上呈阶梯状布置，且光电传感器阵列(4)中的每个光电传感器逐一错开，使得光电传感器与光栅尺栅纹在两端的接触面积与位移间呈线性关系，呈现梯形错位脉冲序列；
在光栅尺宽度方向上布置的光电传感器阵列(4)中光电传感器数量N＝B/(L+S)，B为光栅尺栅纹宽度，L为光电传感器像素的长度，S为光电传感器之间的错位间距；光栅尺测量精度为D/N，D为栅距。
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