[发明专利]晶圆盒输送装置

权利要求书

1.一种晶圆盒输送装置，其特征在于，包括：

承载机构，用于放置晶圆盒；

平移机构，用于带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移；

输送机构，用于输送平移机构；

其中，所述平移机构包括：

第一平移机构，用于带动所述承载机构在第一轴方向平移：

第二平移机构，用于带动所述承载机构在第二轴方向平移：

第三平移机构，用于带动所述承载机构在第三轴方向平移；

所述第一轴方向、所述第二轴方向和所述第三轴方向构成空间笛卡尔直角坐标系或空间笛卡尔斜角坐标系；

所述第一平移机构包括第一安装件、第一驱动件和第一导向件，所述第一导向件平行于所述第一轴方向，所述承载机构和所述第一安装件之间通过所述第一导向件连接，使所述承载机构和所述第一安装件相互滑动，所述第一驱动件能够驱动所述承载机构沿着所述第一轴方向移动；

所述第二平移机构包括第二安装件、第二驱动件和第二导向件，所述第二导向件平行于所述第二轴方向，所述第一安装件和所述第二安装件之间通过所述第二导向件连接，使所述第一安装件和所述第二安装件相互滑动，所述第二驱动件能够驱动所述第一安装件沿所述第二轴方向移动；

所述第三平移机构包括第三安装件、第三驱动件和第三导向件，所述第三导向件平行于所述第三轴方向，所述第二安装件和所述第三安装件之间通过所述第三导向件连接，使所述第二安装件和所述第三安装件相互滑动，所述第三驱动件能够驱动所述第二安装件沿所述第三轴方向移动；

所述第一安装件呈方体结构，该呈方体结构的所述第一安装件一侧开口，所述开口用于所述承载机构的滑入和滑出；

所述承载机构包括第一承载件和第二承载件，所述第一承载件连接所述第二承载件，所述第一承载件位于所述第一安装件外侧，且用于放置所述晶圆盒，所述第二承载件用于滑入和滑出所述开口。

2.如权利要求1所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述第一安装件具有一位于所述第一承载件和所述第二承载件之间的底面，所述底面的相对面可为两个连接板，该两个所述连接板用于连接所述第二平移机构。

3.如权利要求2所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述第一导向件设置在所述第一承载件和所述第一安装件之间，所述第一导向件为导轨，且所述导轨的数量为两个；

所述第一平移机构还包括第一丝杠和第一导向块，所述第一驱动件和所述第一丝杠分别位于所述第一安装件内部，所述第一驱动件为电机，所述第一驱动件皮带传动连接所述第一丝杠，所述第一丝杠的轴线与所述第一轴方向平行，所述第一丝杠上螺纹连接有所述第一导向块，所述第一导向块穿出所述第一安装件外侧，并与所述第一承载件连接，通过所述第一驱动件可带动所述承载机构沿着所述第一轴方向移动，所述第一安装件上还设置有与所述第一导向块配合的第一避让孔。

4.如权利要求3所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述第二导向件为导轨，且所述导轨的数量为两个，每个所述连接板与所述第二安装件之间分别设置有一所述导轨；

所述第二平移机构还包括第二丝杠和第二导向块，所述第二驱动件和所述第二丝杠分别设置在所述第二安装件的外侧，且所述第二驱动件和所述第二丝杠位于两个所述连接板之间，所述第二驱动件为电机，所述第二驱动件皮带传动连接所述第二丝杠，所述第二丝杠的轴线与所述第二轴方向平行，所述第二丝杠上螺纹连接有所述第二导向块，所述第二导向块连接一所述连接板，通过所述第二驱动件带动所述第一平移机构沿着所述第二轴方向移动。

5.如权利要求4所述的晶圆盒输送装置，其特征在于，所述第三平移机构还包括第三丝杠、第三导向块和滑板，所述第三驱动件、所述第三丝杠、所述第三导向块、所述第三导向件和所述滑板分别设置在所述第三安装件内部；

所述第三驱动件为电机，所述第三驱动件皮带传动连接所述第三丝杠，所述第三丝杠的轴线与所述第三轴方向平行，所述第三丝杠上螺纹连接有所述第三导向块，所述第三导向块连接有所述滑板，所述滑板连接第三导向件，所述第三导向件为导轨，且所述导轨的数量为两个，所述第二安装件穿进所述第三安装件连接所述滑板，所述第三安装件上设置有所述第二安装件配合的第二避让孔，通过所述第三驱动件带动所述第二平移机构沿着所述第三轴方向移动。