[发明专利]一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀源，其特征在于，包括蒸镀坩埚，还包括设置在所述蒸镀坩埚出口侧的多个蒸镀喷嘴，多个所述蒸镀喷嘴至少排列为一排；

所述蒸镀坩埚内部包括有蒸镀材料空腔，所述蒸镀坩埚出口侧的侧壁设置有连通所述蒸镀材料空腔的贯通腔，所述蒸镀喷嘴包括喷头以及与所述喷头固定连接的活动部，所述喷头通过所述贯通腔与所述蒸镀材料空腔相连通，所述活动部设置于所述贯通腔内并可在所述贯通腔内转动，以使得所述喷头在所述活动部的带动下摆动；

所述活动部为活动轴，所述活动轴一端设置于所述贯通腔侧壁、另一端固定连接在所述喷头侧壁上，所述活动轴平行于所述蒸镀坩埚出口侧所在的平面。

2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀喷嘴的最大摆动角度小于等于90°。

3.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，相邻两个所述蒸镀喷嘴的间距设置为10mm-200mm。

4.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，多个所述蒸镀喷嘴至少排列为两排时，相邻两排的所述蒸镀喷嘴交错设置。

5.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别与每一个所述蒸镀喷嘴相连接，分别控制每一个所述蒸镀喷嘴的活动部在所述贯通腔内的转动。

6.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1-5任一项所述的蒸镀源。

7.一种蒸镀方法，应用于权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，包括，

加热蒸镀坩埚，使所述蒸镀坩埚内的蒸镀材料受热气化；

控制活动部转动，以使得喷头在所述活动部的带动下摆动。

8.根据权利要求7所述的蒸镀方法，其特征在于，当所述蒸镀喷嘴至少排列为两排时，所述控制活动部转动具体为：

控制同一排的多个所述活动部沿第一方向转动，控制相邻排的多个所述活动部沿所述第一方向或与所述第一方向相反的第二方向转动。