[发明专利]低电流测量电路及其测量方法有效

专利信息
申请号: 201710142751.0 申请日: 2017-03-10
公开(公告)号: CN108572273B 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: 杨家奇 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G01R19/00 分类号: G01R19/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 电流 测量 电路 及其 测量方法
【权利要求书】:

1.一种低电流测量电路,其特征在于,包括电阻模块、第一电压源和比较电路,所述电阻模块的两端分别接入一被测电路的输出端和所述第一电压源,所述比较电路将所述被测电路的输出端的电压与一第二电压源的电压相比较,并在所述被测电路的输出端的电压和第二电压源的电压相等时输出一比较信号,所述比较电路包括比较器,所述比较器的两个输入端分别接入所述被测电路的输出端和所述第二电压源,所述第二电压源的电压设为所述被测电路的工作电压,所述电阻模块的阻值为1Mohms~50Mohms。

2.根据权利要求1所述的低电流测量电路,其特征在于,所述电阻模块包括第一电阻,所述第一电阻的两端分别接入所述被测电路的输出端和所述第一电压源。

3.根据权利要求1所述的低电流测量电路,其特征在于,所述电阻模块包括由若干电阻串联相接组成的电阻组,所述电阻组的两端分别接入所述被测电路的输出端和所述第一电压源。

4.根据权利要求3所述的低电流测量电路,其特征在于,所述电阻组由若干等阻值的电阻串联相接组成。

5.根据权利要求1所述的低电流测量电路,其特征在于,所述第一电压源为可变电压源。

6.根据权利要求1所述的低电流测量电路,其特征在于,所述被测电路的输出端接入所述比较器的负极,所述第二电压源接入所述比较器的正极。

7.根据权利要求6所述的低电流测量电路,其特征在于,所述被测电路的输出端接入所述比较器的正极,所述第二电压源接入所述比较器的负极。

8.根据权利要求1所述的低电流测量电路,其特征在于,所述比较电路还包括第二电阻,所述第二电阻的两端分别接入所述被测电路的输出端和所述第二电压源。

9.根据权利要求1所述的低电流测量电路,其特征在于,还包括第三电压源,所述被测电路的输出端接入所述第三电压源。

10.根据权利要求9所述的低电流测量电路,其特征在于,所述第三电压源为可变电压源。

11.根据权利要求1至10任一项所述的低电流测量电路的测量方法,其特征在于,包括:

获取所述电阻模块的总阻值;

为所述第一电压源预设一个初始电压值;

调节所述第一电压源的电压大小,直至所述比较电路输出所述比较信号,此时所述被测电路的输出端的电压与所述第二电压源的电压相等;

根据所述电阻模块的总阻值及所述电阻模块的两端电压计算出流经所述电阻模块的电流,即为所述被测电路的被测电流。

12.根据权利要求11所述的低电流测量电路的测量方法,其特征在于,所述电阻模块的总阻值通过一电阻测量电路测得。

13.根据权利要求11所述的低电流测量电路的测量方法,其特征在于,所述获取所述电阻模块的总阻值的步骤包括:

将所述被测电路的输出端接地;

通过电流测量仪器测量流经所述电阻模块的电流;

根据流经所述电阻模块的电流及所述电阻模块的两端电压计算出所述电阻模块的总阻值。

14.根据权利要求11所述的低电流测量电路的测量方法,其特征在于,所述电阻模块包括由若干电阻串联相接组成的电阻组,所述电阻组的两端分别接入所述被测电路的输出端和所述第一电压源。

15.根据权利要求14所述的低电流测量电路的测量方法,其特征在于,所述获取所述电阻模块的总阻值的步骤包括:

将所述被测电路的输出端接地;

通过电流测量仪器测量流经所述电阻组中任一电阻的电流;

根据流经该电阻的电流及所述电阻模块的两端电压计算出所述电阻模块的总阻值。

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