[发明专利]一种高通量高稳定相干色散光谱成像装置有效

专利信息
申请号: 201710140962.0 申请日: 2017-03-10
公开(公告)号: CN106872038B 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 魏儒义;胡炳樑;李洪波;张智南;于建冬;王飞橙;于涛;高晓惠 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G01J3/45 分类号: G01J3/45;G01J3/28;G01J3/02
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 胡乐
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 通量 稳定 相干 色散 光谱 成像 装置
【权利要求书】:

1.一种高通量高稳定相干色散光谱成像装置,其特征在于:包括依次设置的共光路干涉分光光路、色散分光光路以及光电探测器;

所述共光路干涉分光光路采用非对称结构的共光路Sagnac干涉仪,即共光路Sagnac干涉仪中的反射面的空间位置设置使得最终经共光路Sagnac干涉仪中分束面返回的光束不再与入射光束重合,而是在空间上平行分离;

记分束面首次分光得到一级光束,二次分光得到二级光束;则在二次分光前的光路上对应于空间上平行分离的光束还设置有光程调节结构,使得两路一级光束最终产生光程差,以干涉光束出射;

其中一路干涉光束经会聚后到狭缝上,该狭缝成为色散分光光路的入射像面位置;另一路干涉光束即所述最终经共光路Sagnac干涉仪中分束面返回的光束也经会聚后进入色散分光光路。

2.根据权利要求1所述的高通量高稳定相干色散光谱成像装置,其特征在于:所述光程调节结构,是增设不同的光学介质,或者增加路径来改变光程。

3.根据权利要求2所述的高通量高稳定相干色散光谱成像装置,其特征在于:所述光程调节结构,设置于首次分光后的透射光路上,或者设置于首次分光后的反射光路上。

4.根据权利要求2所述的高通量高稳定相干色散光谱成像装置,其特征在于:所述光学介质为棱镜,所述增加路径采用反射镜组合实现。

5.根据权利要求1所述的高通量高稳定相干色散光谱成像装置,其特征在于:所述色散分光光路采用棱镜色散分光形式或者光栅色散分光形式,其中光栅色散分光形式具体选择透射光栅或反射光栅。

6.根据权利要求1所述的高通量高稳定相干色散光谱成像装置,其特征在于:在入射光源与所述共光路干涉分光光路之间,还设置有前置光学整形系统,主要由透镜和/或反射器件组成。

7.根据权利要求1所述的高通量高稳定相干色散光谱成像装置,其特征在于:所述分束面为半透半反型。

8.根据权利要求7所述的高通量高稳定相干色散光谱成像装置,其特征在于:所述共光路Sagnac干涉仪的分光结构,是由反射镜和半透半反分束器组成的空心形式,或者是由棱镜在不同面上相应地镀反射膜和半透半反分束膜组成的实心形式。

9.根据权利要求1所述的高通量高稳定相干色散光谱成像装置,其特征在于:所述另一路干涉光束是经平面反射镜(5)转向后,再经会聚后进入色散分光光路。

10.根据权利要求9所述的高通量高稳定相干色散光谱成像装置,其特征在于:所述另一路干涉光束具体是经所述平面反射镜(5)后,与所述其中一路干涉光束同方向共同会聚至同一狭缝,进入同一色散分光光路中;或者经所述平面反射镜(5)后,沿不同的方向经另一处会聚至另一狭缝,进入另一色散分光光路中。

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