[发明专利]机台的预诊断方法及预诊断装置

权利要求书

1.一种机台的预诊断方法，其特征在于，该预诊断方法包括：

取得一机台的一零件的多笔感测数据及一异类数据；

由该多笔感测数据取得该零件的多个健康指标值；

依据该些健康指标值及该异类数据得到一可回归性特征值函数及一修正值函数，该修正值函数与该异类数据相关；

依据该可回归性特征值函数及该修正值函数得到一健康指标预测值函数；以及

依据该健康指标预测值函数得到一健康指标预测值，以估测该零件的使用状态；

其中，该零件为粒子过滤器，该粒子过滤器包括至少一个传感器，该多笔感测数据由该粒子过滤器中的至少一个传感器所感测及记录。

2.如权利要求1所述的预诊断方法，还包括：

判断该健康指标预测值是否大于一临界健康指标值；以及

若该健康指标预测值大于该临界健康指标值，则判断该零件需要被更换。

3.如权利要求1所述的预诊断方法，其中于得到该可回归性特征值函数及该修正值函数的步骤中，该些健康指标值分别对应至多个运转周期，该些运转周期各自对应至一运转周期索引值，该可回归性特征值函数及该修正值函数为，针对该些运转周期索引值，使该健康指标预测值函数与该些运转周期索引值所对应的该些健康指标值的误差为最小的该可回归性特征值函数及该修正值函数。

4.如权利要求1所述的预诊断方法，其中该机台为一半导体工艺机台，该异类数据包括多个配方类型数据，该零件具有一传感器，该多笔感测数据为该零件的该传感器所感测而得的感测数据，该些配方类型数据对应至多个配方类型，不同的配方类型所对应的工艺参数是为不同，该修正值函数用以针对不同的配方类型给定不同的修正值。

5.如权利要求4所述的预诊断方法，其中不同的配方类型所对应的工艺产品是为不同。

6.如权利要求4所述的预诊断方法，其中不同的配方类型所对应的修正值函数是为不同。

7.如权利要求1所述的预诊断方法，其中该多笔感测数据为对应至多个运转周期的感测数据，每个运转周期对应至多笔感测数据，借由每个运转周期的多笔感测数据得到对应于该运转周期的该健康指标值。

8.如权利要求1所述的预诊断方法，其中该可回归性特征值函数为一时间序列模型或一曲线拟合模型。

9.如权利要求1所述的预诊断方法，其中该机台为金属有机物化学气相沉积机台。

10.如权利要求1所述的预诊断方法，其中该异类数据包括用以指示一产品类别、一保养或维修方式及一操作因素至少之一。

11.一种机台的预诊断装置，其特征在于，该预诊断装置包括：

一数据撷取模块，用以取得一机台的一零件的多笔感测数据及一异类数据；

一健康指标计算模块，用以由该多笔感测数据取得该零件的多个健康指标值；

一健康指标修正计算模块，用以依据该些健康指标值及该异类数据得到一可回归性特征值函数及一修正值函数，该修正值函数与该异类数据相关，以及依据该可回归性特征值函数及该修正值函数得到一健康指标预测值函数；以及

一故障预测模块，用以依据该健康指标预测值函数得到一健康指标预测值，以估测该零件的使用状态。

12.如权利要求11所述的预诊断装置，该故障预测模块还用以判断该健康指标预测值是否大于一临界健康指标值，以及若该健康指标预测值大于该临界健康指标值，则判断该零件需要被更换。

13.如权利要求11所述的预诊断装置，其中该些健康指标值分别对应至多个运转周期，该些运转周期各自对应至一运转周期索引值，该可回归性特征值函数及该修正值函数为，针对该些运转周期索引值，使该健康指标预测值函数与该些运转周期索引值所对应的该些健康指标值的误差为最小的该可回归性特征值函数及该修正值函数。