[发明专利]承载装置及离子注入设备

权利要求书

1.一种承载装置，其特征在于，包括：

用于承托基板的承托台；

以及，用于支撑基板的多个支撑部件，各支撑部件以可移动地方式设置在所述承托台上，以使各支撑部件在基板上的支撑位置可调节；

在所述承托台上设置有导轨，所述承托台包括多个承托部，在每一所述承托部的侧边设置有所述导轨；在所述导轨上设置有能够沿所述导轨移动的多个滑动块，在每一所述滑动块上连接有至少一个所述支撑部件。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，

所述导轨为凸出于所述承托台的承托部侧面外的长条形凸块结构，所述滑动块中部形成有凹槽，所述凹槽的槽口朝向所述长条形凸块结构，以使所述滑动块环套在所述长条形凸块结构上。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，

在所述凹槽的内壁与所述导轨的外周面之间设置有多个滚珠，多个所述滚珠排列成至少一排，且所述滚珠的排列方向与所述导轨的延伸方向一致。

4.根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，

所述滑动块包括一用于形成所述凹槽的槽底的第一部分、以及用于分别形成所述凹槽的两侧壁的第二部分和第三部分，其中，所述第二部分和所述第三部分均可拆卸地连接在所述第一部分上，且所述第二部分和所述第三部分上分别设置所述滚珠。

5.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，

所述凹槽为槽底尺寸大于槽口尺寸的梯形槽结构，所述导轨为与所述凹槽结构相匹配的、横截面呈梯形的长条形凸块结构。

6.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，

所述承托台包括相对的第一侧边和第二侧边、及相对的第三侧边和第四侧边，在所述第一侧边设置有能够使得所述承托台由水平状态翻转成竖直状态的翻转轴，所述导轨沿所述承托台的第三侧边和第四侧边的延伸方向设置。

7.根据权利要求6所述的承载装置，其特征在于，

所述承载装置还包括能够驱动各滑动块在所述导轨上移动的驱动机构，所述驱动机构包括：

横杆，多个支撑部件呈阵列排布，同一行的多个支撑部件中各支撑部件所对应的滑动块通过同一根横杆连接一起，以使同一行的多个支撑部件能够同步移动；

设置在所述承托台的第三侧边和第四侧边的至少一个侧边上的驱动轨道，所述横杆的一端设置在所述驱动轨道上，并能够沿所述驱动轨道移动；

以及，用于驱动所述横杆沿所述驱动轨道往复移动的驱动部。

8.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，

所述驱动部包括：

驱动马达，所述驱动马达包括输出轴；

以及能够在所述输出轴驱动下旋转的旋转齿轮，所述横杆的一端连接在所述旋转齿轮的中心，且所述旋转齿轮与所述横杆之间能够相对转动；

其中在所述驱动轨道上设置有齿条，所述齿条与所述旋转齿轮啮合。

9.根据权利要求6所述的承载装置，其特征在于，

所述承托台呈阶梯状结构，所述承托台的厚度从靠近所述第一侧边的一侧向靠近所述第二侧边的一侧呈阶梯状逐渐减小。

10.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，

所述支撑部件包括用于与基板接触的接触端、及与所述接触端相对的连接端，其中，所述支撑部件的接触端端面为具有预定面积的平面结构。

11.根据权利要求10所述的承载装置，其特征在于，

所述支撑部件为一圆柱形结构，且所述接触端的边缘为经圆滑化处理的圆滑倒角结构。

12.一种离子注入设备，其特征在于，包括如权利要求1至11任一项所述的承载装置。