[发明专利]基于原位制备目标基底的转移石墨烯的方法

权利要求书

1.一种基于原位制备目标基底的转移石墨烯的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S101：在固相载体上沉积的石墨烯表面涂覆和/或沉积目标基底；其中，所述目标基底的原料组分至少包括两种气体，且所述气体之间能够通过化学反应从气态转变为固态；所述气体包括第一气体和第二气体；

S102：对所述S101得到的产物进行处理或其自发相变，以使所述目标基底中的第一气体和第二气体通过化学反应从气态转变为固态；

S103：分离除去所述S102产物中的固相载体，实现石墨烯的转移；

其中，所述第一气体为四-二甲基氨基铪，所述第二气体为水蒸气；

第一气体和第二气体发生化学反应的条件为：温度为130℃，气压为400mTorr，40个循环的氧化铪通过0.025μs的H₂O脉冲，70μs的延迟，然后0.3μs的脉冲的沉积前体四-二甲基氨基铪形成氧化铪。

2.根据权利要求1所述的基于原位制备目标基底的转移石墨烯的方法，其特征在于：

所述S101中，所述固相载体包括铜箔或镍箔。

3.根据权利要求1所述的基于原位制备目标基底的转移石墨烯的方法，其特征在于：

转移石墨烯的方法具体包括：

S101：在固相载体上沉积的石墨烯表面沉积第一气体；

S102：对所述S101得到的产物通入第二气体，目标基底原料组分中的第一气体和第二气体通过化学反应从气态转变为固态；

S103：分离除去所述S102产物中的固相载体，实现石墨烯的转移。

4.根据权利要求1所述的基于原位制备目标基底的转移石墨烯的方法，其特征在于，所述S101之前还包括步骤S100：

在固相载体上采用化学气相沉积法制备石墨烯，或采用机械剥离法制备石墨烯。

5.根据权利要求4所述的基于原位制备目标基底的转移石墨烯的方法，其特征在于：

所述机械剥离法制备石墨烯包括：从高定向热解石墨剥离得到石墨烯。

6.根据权利要求1-5任一项所述的方法转移得到的石墨烯。