[发明专利]基于直线步进电机的角位移平台装置

说明书

本发明公开了基于直线步进电机的角位移平台装置，其包括角位移调节平台，角位移调节平台包括中间传动结构、角位移导向结构和直线步进电机结构；中间传动结构包括限位导向结构以及中间组件，所述中间组件在输出杆的作用下带动台面沿角位移导向结构发生角位移；角位移导向结构包括设于底座/台面上的第一弧形导向部件以及设于台面/底座上的第二弧形导向部件，第二弧形导向部件与第一导向部件相配合对台面的角位移进行导向；启动直线步进电机结构，输出杆在限位导向结构的作用下发生滑动，并通过中间传动结构带动台面在角位移导向结构的导向下发生角位移，实现对台面的角位移调节，其无需手动调节校准，调节效率高且调节精准度高。

技术领域

本发明属于精密运动领域，具体地说，涉及一种调节效率高且调节精度高的基于直线步进电机的角位移平台装置。

背景技术

随着光纤通信和光纤传感技术的发展，光电子器件的制备成为了光信息技术进一步发展的关键。光电子集成器件的封装技术影响着光电子器件的可靠性，关键的封装工艺与封装设备可以大幅度的提高生产效率、保证器件的质量；目前光电子封装企业主要依靠手动耦合为主。

如中国专利文献CN103559916B公开了一种手动对准的三自由度微动角位台，包括底座、台面、固定台、连接台、分厘卡、角度倾斜板和铰接钢片，所述底座包括Z向底座和XY向底座；所述固定台包括Z向固定台和XY向固定台，所述Z向固定台安装在Z向底座上，所述XY向固定台安装在XY向底座上；所述连接台包括第一连接台与第二连接台；上述专利文献所述的手动对准的三自由度微动角位台利用钢片支撑、分厘卡微调的方式达到平台在X轴、Y轴和Z轴的微动角位移。

但是，上述专利文献所述的手动对准的三自由度微动角位台，至少存在以下不足之处：采用手动调节对准，在实际操作过程中，需要作业人员的操作熟练且操作动作幅度小，否则不仅操作效率低，而且其完成质量差、难以达到高精确度要求，更难以满足具有精度要求高的新一代芯片的耦合对准。

发明内容

为此，本发明所要解决的技术问题在于现有技术中的微动角位台采用手动调节对准，器操作效率低、完成质量差；进而提供一种调节效率高且调节精度高的基于直线步进电机的角位移平台装置。

为解决上述技术问题，本发明的基于直线步进电机的角位移平台装置，其包括至少一个角位移调节平台，所述角位移调节平台包括底座、台面以及中间传动结构；所述角位移调节平台还包括角位移导向结构和直线步进电机结构，所述中间传动结构在所述直线步进电机结构的带动下使所述台面在所述角位移导向结构的导向下发生角位移；

所述中间传动结构包括

限位导向结构，限制所述直线步进电机结构的输出杆的转动并对其滑动进行导向；以及

中间组件，与所述输出杆连接并在所述输出杆的作用下带动所述台面沿所述角位移导向结构发生角位移；

所述角位移导向结构包括

第一弧形导向部件，设于所述底座/所述台面上；以及

第二弧形导向部件，设于所述台面/所述底座上，所述第二弧形导向部件与所述第一导向部件相配合对所述台面的角位移进行导向。

所述中间组件包括

推动件，与所述输出杆固定连接；以及

被推动件，固定设置在所述台面的下端面上且朝向所述底座方向进行延伸，所述被推动件与所述推动件贴合。

所述推动件包括与所述输出杆固定连接的铁块，所述被推动件包括通过固定座固定安装在所述台面的下端面上的磁铁，所述铁块与所述磁铁相吸并贴合。