[发明专利]一种脱泡装置在审
申请号: | 201710129832.7 | 申请日: | 2017-03-06 |
公开(公告)号: | CN108525351A | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 范真瑞;陆忠;张文轩;熊黎;唐成;汪明文;杨剑波;袁洪光;林伟;蒋冬华 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | B01D19/02 | 分类号: | B01D19/02 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;张天舒 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 脱泡 脱泡装置 腔室 加热单元 盛放 加热 封闭 | ||
1.一种脱泡装置,包括能封闭的脱泡腔室,用于盛放待脱泡的液体,其特征在于,所述脱泡装置还包括:
加热单元,用于加热所述脱泡腔室。
2.根据权利要求1所述的脱泡装置,其特征在于,还包括:温度检测单元和控制器;
所述温度检测单元用于检测所述脱泡腔室内的温度,并将所述温度反馈给所述控制器;
所述控制器用于根据所述温度检测单元检测到的温度控制所述加热单元。
3.根据权利要求2所述的脱泡装置,其特征在于,
所述温度检测单元包括多个温度传感器,多个所述温度传感器用于检测所述脱泡腔室中不同位置的温度。
4.根据权利要求1所述的脱泡装置,其特征在于,
所述加热单元包括一根加热丝,所述加热丝用于对所述脱泡腔室进行整体加热;
或者,
所述加热单元包括多根加热丝,每根所述加热丝用于对所述脱泡腔室的一个区域进行加热。
5.根据权利要求1所述的脱泡装置,其特征在于,还包括:
设于所述脱泡腔室外的保温层。
6.根据权利要求1所述的脱泡装置,其特征在于,还包括:
脱泡监测单元,用于监测所述脱泡腔室中的液体的脱泡状态。
7.根据权利要求6所述的脱泡装置,其特征在于,所述脱泡监测单元包括:
图像采集单元,用于采集所述脱泡腔室内的液体的图像。
8.根据权利要求6所述的脱泡装置,其特征在于,所述脱泡监测单元包括:
气氛分析仪,用于检测所述脱泡腔室中的气体含量。
9.根据权利要求8所述的脱泡装置,其特征在于,
所述气氛分析仪为氧气分析仪。
10.根据权利要求1所述的脱泡装置,其特征在于,还包括:
设于所述脱泡腔室内的搅拌单元,用于搅动待脱泡的液体;
和/或
真空单元,用于抽出所述脱泡腔室内的气体。
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