[发明专利]用于微纳样品的原位复合加载与测量装置

权利要求书

1.一种用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，在以X、Y、Z为坐标轴的空间直角坐标系中，该用于微纳样品的原位复合加载与测量装置包括沿X坐标轴的正方向依次设置的左加载调节组件和右加载调节组件，所述左加载调节组件含有沿X坐标轴的正方向依次连接的左部旋转压电陶瓷电机(3)、左部垂直直线压电陶瓷电机(4)和左部水平直线压电陶瓷电机(5)，左部旋转压电陶瓷电机(3)能够驱动左部垂直直线压电陶瓷电机(4)和左部水平直线压电陶瓷电机(5)以X坐标轴为轴旋转，左部垂直直线压电陶瓷电机(4)能够驱动左部水平直线压电陶瓷电机(5)沿Z坐标轴的方向移动，所述右加载调节组件含有沿Z坐标轴的方向依次连接的右部连接块(12)和右部推进直线压电陶瓷电机(13)，右部推进直线压电陶瓷电机(13)能够驱动右部连接块(12)沿X坐标轴的方向移动；

右部连接块(12)连接有右部垂直直线压电陶瓷电机(11)；右部垂直直线压电陶瓷电机(11)连接有右部水平直线压电陶瓷电机(10)，右部水平直线压电陶瓷电机(10)、右部垂直直线压电陶瓷电机(11)和右部连接块(12)沿X坐标轴的正方向依次设置，右部垂直直线压电陶瓷电机(11)能够驱动右部水平直线压电陶瓷电机(10)沿Z坐标轴的方向移动。

2.根据权利要求1所述的用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，左部水平直线压电陶瓷电机(5)连接有左部样品固定平台(6)，左部样品固定平台(6)位于左部水平直线压电陶瓷电机(5)和该右加载调节组件之间，左部水平直线压电陶瓷电机(5)能够驱动左部样品固定平台(6)沿Y坐标轴的方向移动。

3.根据权利要求2所述的用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，左部样品固定平台(6)呈凸字形，左部样品固定平台(6)的顶部为朝向所述右加载调节组件凸出的凸出部，左部样品固定平台(6)的底部与左部水平直线压电陶瓷电机(5)连接固定，左部样品固定平台(6)为片状结构，左部样品固定平台(6)与X坐标轴平行。

4.根据权利要求3所述的用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，左部样品固定平台(6)的顶端外连接有传感器模块(7)。

5.根据权利要求1所述的用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，右部水平直线压电陶瓷电机(10)连接有右部样品固定平台(9)，右部样品固定平台(9)位于右部水平直线压电陶瓷电机(10)和该左加载调节组件之间，右部水平直线压电陶瓷电机(10)能够驱动右部样品固定平台(9)沿Y坐标轴的方向移动。

6.根据权利要求5所述的用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，右部样品固定平台(9)呈凸字形，右部样品固定平台(9)的顶部为朝向所述左加载调节组件凸出的凸出部，右部样品固定平台(9)的底部与右部水平直线压电陶瓷电机(10)连接固定，右部样品固定平台(9)为片状结构，右部样品固定平台(9)与X坐标轴平行。

7.根据权利要求1所述的用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，该用于微纳样品的原位复合加载与测量装置还包括固定基座(1)，左部旋转压电陶瓷电机(3)通过左部操作臂连接块(2)与固定基座(1)连接固定，右部推进直线压电陶瓷电机(13)通过右部操作臂连接块(14)与固定基座(1)连接固定。