[发明专利]一种波长测量仪

权利要求书

1.一种波长测量仪，其特征在于，包括：可替换光源组件、牛顿环仪、图像传感器、处理器；

所述牛顿环仪包括一平凸透镜和平面透镜，所述平凸透镜的凸面与所述平面透镜接触；

所述可替换光源组件包括具有相同出光角度的标准光源和待测光源，且所述标准光源和待测光源的出光光轴都与所述牛顿环仪的中心轴重合，所述标准光源和待测光源的出光垂直入射所述牛顿环仪的平凸透镜侧；

所述图像传感器用于在所述标准光源和待测光源入射情况下检测所述牛顿环仪的平面透镜上的干涉环信息并发送至所述处理器；

所述处理器用于根据所述干涉环信息和该图像传感器的分辨率确定所述标准光源和待测光源的干涉环的半径r_标、r_测，再根据波长计算公式(r_n″)²＝(n-1)k，计算所述待测光源的波长相关系数k_测和标准光源的波长相关系数k_标，其中r″_n是图像传感器测得牛顿环半径，n是干涉级数，b是传感器放大倍数，和s和s′分别是牛顿环物距、像距，R是平凸透镜的曲率半径；

根据所述待测光源的波长相关系数k_测和标准光源的波长相关系数k_标和标准光源的波长λ_标计算所述待测光源的波长

2.根据权利要求1所述的一种波长测量仪，其特征在于，所述干涉环信息包括像素半径r″_标、r″_测，所述处理器进一步用于根据所述像素半径r″_标、r″_测和该图像传感器的分辨率δ确定所述干涉环的半径：其中r_标、r_测，为第n级干涉圆环半径。

3.根据权利要求1所述的一种波长测量仪，其特征在于，所述可替换光源组件包括光源安装座和第一透镜；所述标准光源或待测光源可拆卸地安装于所述光源安装座，使得所述标准光源或待测光源发出的光经过所述第一透镜折射后获得与所述牛顿环仪中心轴平行的出射光。

4.根据权利要求1所述的一种波长测量仪，其特征在于，所述可替换光源组件包括第一透镜、可翻转反射镜、所述标准光源、所述待测光源；

所述可翻转反射镜配置为翻转到预设位置将所述标准光源或所述待测光源发出的光反射入所述第一透镜，使得经过所述第一透镜折射后获得与所述牛顿环仪中心轴平行的出射光。

5.根据权利要求4所述的一种波长测量仪，其特征在于，所述标准光源和所述待测光源相对于所述第一透镜的主光轴对称设置。

6.根据权利要求1所述的一种波长测量仪，其特征在于，所述可替换光源组件包括第一透镜、棱镜、所述标准光源、所述待测光源；

所述棱镜配置为：

通过折射或全反射将所述标准光源发出的光反射入所述第一透镜，使得经过所述第一透镜折射后获得与所述牛顿环仪中心轴平行的出射光，或

通过折射或全反射将所述待测光源发出的光反射入所述第一透镜，使得经过所述第一透镜折射后获得与所述牛顿环仪中心轴平行的出射光。

7.根据权利要求1所述的一种波长测量仪，其特征在于，所述图像传感器包括电荷藕合器件图像传感器或互补性氧化金属半导体。

8.根据权利要求1所述的一种波长测量仪，其特征在于，还包括第二透镜；所述第二透镜设于所述牛顿环仪与所述图像传感器之间，所述牛顿环的平行透镜侧的平行的出射光通过所述第二透镜汇聚后入射所述图像传感器的探头中。