[发明专利]一种金属掩膜板及其制备方法

说明书

本发明公开了一种金属掩膜板及其制备方法。所述金属掩膜板包括显示区以及至少设置于所述显示区相对两侧的支撑区；所述显示区包括多个像素开孔以及网格状遮光部；所述支撑区的厚度大于所述网格状遮光部的厚度。本发明实施例提供的金属掩膜板包括显示区以及至少设置于所述显示区相对两侧的支撑区，所述显示区包括多个像素开孔以及网格状遮光部，所述支撑区的厚度大于所述网格状遮光部的厚度，使金属掩膜板支撑区的厚度相较于现有技术增厚，无需再采用张网技术来崩平金属掩膜板，在保证金属掩膜板制备精度的前提下，避免了金属掩膜板因张网技术使用的拉力导致的形变问题，降低了金属掩膜板在蒸镀机使用上的良率损失。

技术领域

本发明实施例涉及掩膜板制造技术，尤其涉及一种金属掩膜板及其制备方法。

背景技术

有机发光显示器件性能优良，备受用户青睐。像素并置法是使用较为广泛的一种有机发光显示器件的制备方法，采用这种方法制作出的有机发光器件显示色彩纯正，且发光效率高。

掩膜框架组件是像素并置法制备有机发光显示器件时所需的治具。现有技术中掩膜框架组件由框架、支撑片、遮挡片、金属掩膜板以及侧边掩膜板组成，支撑片、遮挡片、金属掩膜板以及侧边掩膜板均以张网结合焊接的方式固定在框架上。在上述各部件的固定过程中需要以施加拉力的方式让对应部件崩平，其中，金属掩膜板较薄，施加的拉力会使金属掩膜板产生不同方向的形变，造成在蒸镀机使用上的良率损失。

发明内容

本发明提供了一种金属掩膜板及其制备方法，以避免金属掩膜板在张网过程中受拉力影响产生形变，降低其在蒸镀机使用上的良率损失。

第一方面，本发明实施例提供了一种金属掩膜板，所述金属掩膜板包括显示区以及至少设置于所述显示区相对两侧的支撑区；

所述显示区包括多个像素开孔以及网格状遮光部；

所述支撑区的厚度大于所述网格状遮光部的厚度。

第二方面，本发明实施例还提供了一种金属掩膜板的制备方法，所述方法包括：

提供一基板；

在所述基板上形成第一阻挡层，所述第一阻挡层包括多个相互独立的阻挡块，多个所述阻挡块以及各所述阻挡块之间的间隙所在区域为显示区，所述显示区对应所述基板的中心区域设置；

在所述第一阻挡层之外的区域形成第一金属层，所述第一金属层所在区域为支撑区；

在所述显示区对应的区域形成第二阻挡层；

在所述第二阻挡层之外的区域形成第二金属层；

去除所述基板、所述第一阻挡层以及所述第二阻挡层，以获得所述金属掩膜板。

第三方面，本发明实施例还提供了一种金属掩膜板的制备方法，所述方法包括：

提供一基板

在所述基板上形成第一金属层；

在所述第一金属层上形成第三阻挡层，所述第三阻挡层所在区域为显示区，对应所述基板的中心区域设置；

在所述第三阻挡层之外的区域形成第二金属层，所述第三阻挡层之外的区域为支撑区；

去除所述基板以及所述第三阻挡层；以及

在所述第三阻挡层对应区域内的第一金属层上形成多个相互独立的像素通孔，以获得所述金属掩膜板。