[发明专利]振动位移测定装置及振动位移测定方法

权利要求书

1.一种振动位移测定装置，其以非接触方式对被测定对象的振动或者位移进行测定，

该振动位移测定装置具有：

光源部，其输出进行了频率调制的连续光；

分支部，其将所述连续光分支为第1分支光和第2分支光；

受光部，其对在所述被测定对象处被反射的所述第1分支光和所述第2分支光的干涉光进行受光而生成电气信号；以及

运算部，其使用所述电气信号，求出所述被测定对象的振动或者位移，

所述光源部至少设定调制周期及调制振幅，以使得所述受光部能够检测通过所述第1分支光和所述第2分支光相互增强而使所述干涉光变强的相关峰，

所述光源部至少设定调制周期及调制振幅，以使得所述被测定对象的测定部位配置于相关峰内，

所述光源部的调制周期及调制振幅设定为，使得所述被测定对象的测定部位配置于所述相关峰的形状的前半部或后半部中的、相对于所述被测定对象的位置在所述被测定对象处被反射的所述第1分支光和所述第2分支光的相关度表示与直线近似的变化的部分，

所述光源部的调制周期设定为，将通过所述分支部分支出的所述第1分支光在所述被测定对象处进行反射而到达所述受光部为止的第1光路的长度、与通过所述分支部分支出的所述第2分支光到达所述受光部为止的第2光路的长度之差除以光速而得到的值的整数倍、或者接近所述整数倍的值。

2.根据权利要求1所述的振动位移测定装置，其中，

所述光源部的调制振幅与所述被测定对象的测定部位的振动或者位移的大小相对应地设定。

3.根据权利要求1或2所述的振动位移测定装置，其中，

还具有光纤，该光纤将通过所述分支部分支出的所述第1分支光引导至朝向所述被测定对象进行照射的位置即照射位置。

4.根据权利要求3所述的振动位移测定装置，其中，

还具有透镜，该透镜配置于所述照射位置和所述被测定对象之间，将从所述光纤射出的所述第1分支光聚光至所述被测定对象的测定部位。

5.根据权利要求3所述的振动位移测定装置，其中，

还具有透镜，该透镜配置于所述照射位置和所述被测定对象之间，将从所述光纤射出的所述第1分支光变换为平行光，并向所述被测定对象的测定部位照射。

6.根据权利要求1或2所述的振动位移测定装置，其中，

还具有控制部，该控制部一边参照所述运算部的运算结果、一边对所述光源部进行控制。

7.根据权利要求1或2所述的振动位移测定装置，其中，

在所述第1分支光和所述第2分支光的光路差为零、或者将所述光路差除以光速而得到的值为所述连续光的调制周期的整数倍的情况下，所述相关峰出现。

8.一种振动位移测定方法，其以非接触方式对被测定对象的振动或者位移进行测定，

在该振动位移测定方法中，

输出进行了频率调制的连续光，

将所述连续光分支为第1分支光和第2分支光，

对在所述被测定对象处被反射的所述第1分支光和所述第2分支光的干涉光进行受光而生成电气信号，

使用所述电气信号，求出所述被测定对象的振动或者位移，

至少设定所述连续光的调制周期及调制振幅，以使得所述被测定对象的测定部位配置于相关峰内，

所述调制周期及调制振幅设定为，使得所述被测定对象的测定部位配置于所述相关峰的形状的前半部或后半部中的、相对于所述被测定对象的位置在所述被测定对象处被反射的所述第1分支光和所述第2分支光的相关度表示与直线近似的变化的部分，

所述调制周期设定为，将通过所述分支出的所述第1分支光在所述被测定对象处进行反射而被受光为止的第1光路的长度、与通过所述分支出的所述第2分支光被受光为止的第2光路的长度之差除以光速而得到的值的整数倍、或者接近所述整数倍的值。

9.根据权利要求8所述的振动位移测定方法，其中，

在输出进行了所述频率调制的连续光之前，

对在所述第1分支光的光路上的基准位置设置的反射镜照射所述第1分支光，求出所述电气信号成为最大的所述连续光的调制频率，

在从所述基准位置去除所述反射镜的状态下，对所述被测定对象照射所述第1分支光，一边使所述连续光的调制频率变化、一边对所述电气信号的强度进行测定，

使用所述电气信号的强度，将所述连续光的调制频率决定为，以使得所述被测定对象的测定部位配置于所述相关峰内。