[发明专利]角速度取得装置

说明书

实施方式提供一种加工偏差不易给动作带来影响的角速度取得装置。实施方式的角速度取得装置具备：可动体，该可动体在第1方向及基于科里奥利力的第2方向上振动，具有在上述第2方向上延伸的可动电极部；保持电极，具有在上述第2方向上延伸、并隔开间隙地与上述可动电极部对置的固定电极部；以及挡块，配置在上述固定电极部与上述可动电极部之间，具有位于比上述固定电极部的与上述可动电极部对置的面更靠上述可动电极部侧的端部。

本申请基于日本专利申请2016－130106号(申请日：2016年6月30日)主张优先权。本申请通过参照该基础申请而包含该基础申请的全部内容。

技术领域

实施方式涉及角速度取得装置。

背景技术

作为利用于旋转系统中振动的物体上的科里奥利力(Coriolis force)来检测角速度的陀螺仪传感器，已知有使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技术而形成的结构。有时，基于该MEMS技术的加工偏差使得陀螺仪传感器的正常的动作受损。

发明内容

实施方式提供一种加工偏差不易影响到动作的角速度取得装置。

实施方式的角速度取得装置具备：可动体，该可动体在第1方向及基于科里奥利力的第2方向上振动，具有在上述第2方向上延伸的可动电极部；保持电极，具有在上述第2方向上延伸、并隔开间隙地与上述可动电极部对置的固定电极部；以及挡块，配置在上述固定电极部与上述可动电极部之间，具有位于比上述固定电极部的与上述可动电极部对置的面更靠上述可动电极部侧的端部。

附图说明

图1是实施方式的角速度取得装置的MEMS部的示意俯视图。

图2是图1的A部的放大示意俯视图。

图3是表示图2所示的可动体的保持状态的示意俯视图。

图4是表示实施方式的角速度取得装置的结构的块图。

图5是实施方式的角速度取得装置的动作时序图。

图6(a)～图6(c)是表示实施方式的角速度取得装置的制造方法的示意剖视图。

图7是表示实施方式的角速度取得装置的制造方法的示意俯视图。

图8是表示实施方式的角速度取得装置的可动电极部及保持电极的另一例的示意俯视图。

图9是图8中的一部分的放大示意俯视图。

图10(a)是图9的B－B’剖视图，图10(b)是图9的C－C’剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式进行说明。另外，在各图面中，对于相同的要素赋予相同的标号。

图1是实施方式的角速度取得装置的MEMS部10的示意俯视图。

图1所示的MEMS部10的要素是对设在基板上的膜进行布图而得到的。基板例如是硅基板，构成MEMS部10的要素的膜例如是硅膜。

MEMS部10具有可动体11、驱动电极20、传感电极50、保持电极40和挡块30。

可动体11能够在Y方向及X方向上振动。X方向相对于Y方向正交。可动体11具有主块(mass)部12、驱动/保持用的电极17和传感用的电极13。主块部12、电极13及电极17一体地设置。

一对驱动/保持用的电极17在Y方向上分离而配置，主块部12配置在一对电极17之间。在电极17的X方向的侧方配置有锚部18和弹簧部19，弹簧部19将锚部18与电极17连结。