[发明专利]热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，其特征在于，

所述热处理装置具备：

容器，其在被处理物的热处理时收纳所述被处理物；

介质供给部，其包括用于将温度调整用的介质供给至所述容器的基准阀和副阀；以及

控制部，其以所述基准阀供给所述介质的供给形态为基准，控制所述副阀供给所述介质的供给形态。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，

所述控制部以所述基准阀的开度固定的状态为基准，来控制所述副阀的开度。

3.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于，

所述控制部构成为：以所述容器中的被从所述基准阀供给所述介质的部位处的温度为基准，控制从所述副阀向所述容器供给的所述介质的流量。

4.根据权利要求3所述的热处理装置，其特征在于，

所述控制部控制所述副阀的开度，以使所述容器中的被从所述基准阀供给所述介质的部位处的温度和所述容器中的被从所述副阀供给所述介质的部位处的温度的偏差减小。

5.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于，

所述副阀设置有多个，

所述控制部控制各所述副阀，以使一个所述副阀和另一个所述副阀执行不同的动作。

6.根据权利要求5所述的热处理装置，其特征在于，

所述控制部构成为采用比例控制来控制各所述副阀，所述控制部将一个所述副阀的控制增益和另一个所述副阀的控制增益设定为不同的值。

7.根据权利要求6所述的热处理装置，其特征在于，

所述介质是用于冷却所述容器的冷却介质，

从一个所述副阀向所述容器供给所述冷却介质的位置被设定得比从另一个所述副阀向所述容器供给所述冷却介质的位置高，

所述控制部将针对一个所述副阀的所述控制增益设定得比针对另一个所述副阀的所述控制增益大。

8.根据权利要求6所述的热处理装置，其特征在于，

所述容器包括：向所述容器的外部敞开的开口部；和相对于所述容器的外部被封闭的形状的里部，

所述介质是用于冷却所述容器的冷却介质，

从一个所述副阀向所述容器供给所述冷却介质的位置被设定为靠所述开口部和所述里部中的所述里部，从另一个所述副阀向所述容器供给所述冷却介质的位置被设定为靠所述开口部和所述里部中的所述开口部，

所述控制部将针对一个所述副阀的所述控制增益设定得比针对另一个所述副阀的所述控制增益大。

9.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于，

所述副阀设置有多个，

来自所述基准阀的所述介质的出口位置被设定于来自各所述副阀的所述介质的出口位置之间。