[发明专利]一种键合装置

权利要求书

1.一种键合装置，其特征在于，包括真空腔体、设于所述真空腔体内用于装载第一片材的上键合板机构、设于所述上键合板机构上的波纹管单元、与所述波纹管单元连通的气源、与所述气源连接的控制器以及用于装载第二片材的下键合板机构，所述波纹管单元包括若干尺寸不同的波纹管，所述气源包括若干相互独立的气路，所述气路与所述波纹管一一对应，在将所述第一片材的下表面与所述第二片材的上表面贴合并进行键合时，所述控制器根据第一片材的位置和尺寸，控制所述第一片材上表面对应的波纹管对应的所述气路充气，为所述上键合板机构、所述第一片材、所述第二片材以及所述下键合板机构提供正压力，同时控制位于所述第一片材外围的其它波纹管对应的所述气路抽气，为所述上键合板机构提供负压力。

2.根据权利要求1所述的键合装置，其特征在于，所述若干尺寸不同的波纹管包括一个外层波纹管和若干内层波纹管，所述外层波纹管的尺寸大于任何一个所述内层波纹管，所述外层波纹管套设在所述若干内层波纹管外围。

3.根据权利要求2所述的键合装置，其特征在于，所述若干内层波纹管之间及所述若干内层波纹管与所述外层波纹管之间同轴设置。

4.根据权利要求3所述的键合装置，其特征在于，键合时所述控制器控制尺寸大于所述第一片材的波纹管对应的气路抽气，尺寸小于及等于所述第一片材的波纹管对应的气路充气。

5.根据权利要求2所述的键合装置，其特征在于，所述若干内层波纹管之间偏心设置。

6.根据权利要求5所述的键合装置，其特征在于，所述若干内层波纹管中所有内层波纹管均与所述外层波纹管偏心设置。

7.根据权利要求5所述的键合装置，其特征在于，所述若干内层波纹管中至少有一个内层波纹管与所述外层波纹管同轴设置。

8.根据权利要求5所述的键合装置，其特征在于，所述上键合板机构上设有一个第一片材时，所述控制器控制尺寸大于所述第一片材的波纹管对应的气路抽气，尺寸小于及等于所述第一片材的波纹管对应的气路充气；所述上键合板机构上设有至少两个第一片材时，所述控制器控制所述内层波纹管中覆盖所述至少两个第一片材的波纹管的气路充气，控制所述内层波纹管中其余的波纹管及外层波纹管抽气。

9.根据权利要求1所述的键合装置，其特征在于，所述上键合板机构由下至上依次包括上压盘、上加热板和上隔热板，所述第一片材设于所述上压盘下表面，所述波纹管单元设于所述上隔热板上方。

10.根据权利要求9所述的键合装置，其特征在于，所述下键合板机构和上键合板机构上下对称设置，所述下键合板机构由上至下依次包括下压盘、下加热板和下隔热板，所述第二片材设于所述下压盘上表面，所述下隔热板通过下盘安装板固定于所述真空腔体的下板上。