[发明专利]光刻机和光刻机中吊框面型补偿方法

权利要求书

1.一种光刻机，具有用于承载工件台的吊框，其特征在于，在所述吊框上设置吊框面型补偿单元，用于吊框面型补偿；所述吊框上还设置有吊框面型形变检测模块；所述光刻机还设置有一闭环自动控制器，与所述吊框面型补偿单元连接，用于控制所述吊框面型补偿单元给予所述吊框补偿力的大小。

2.如权利要求1所述的光刻机，其特征在于，所述吊框面型补偿单元采用减振装置；所述减振装置由气囊和直线电机构成。

3.如权利要求1所述的光刻机，其特征在于，所述吊框面型补偿单元一侧固定在地面上，另一侧固定在所述吊框底面。

4.如权利要求1所述的光刻机，其特征在于，所述吊框面型形变检测模块为固定在所述吊框底面的应变片。

5.如权利要求1所述的光刻机，其特征在于，所述吊框面型形变检测模块为压电片，所述吊框底面设置有槽，所述压电片固定在所述槽内。

6.如权利要求1所述的光刻机，其特征在于，所述工件台上还设置有位置前馈反应装置，用于测量所述工件台的位置。

7.一种具有如权利要求1～6中任意一项所述的光刻机中吊框面型补偿方法，其特征在于，包括

步骤一：在吊框底部设置吊框面型形变检测模块，将工件台沿X、Y向运动一段距离；

步骤二：记录此时吊框面型形变检测模块检测到的数据；

步骤三：移动所述工件台，工件台每移动一段距离，重复步骤二直至运动至工件台极限位；

步骤四：将步骤二和步骤三得到的数据进行最小二乘法进行拟合；

步骤五：设置一闭环自动控制器，其与吊框面型补偿单元连接，根据步骤四中拟合得到的数据，在工件台移动过程中，由所述闭环自动控制器控制所述吊框面型补偿单元的补偿力。

8.如权利要求7中所述的吊框面型补偿方法，其特征在于，在工件台上设置位置前馈反应装置，在步骤二和三中记录工件台吊框面型形变检测模块检测到的数据的同时，记录位置前馈反应装置所显示的工件台的实时位置坐标，并将吊框面型形变检测模块和位置前馈反应装置记录得到的数据形成表格作为闭环自动控制器的前馈信输入所述闭环自动控制器，在工件台移动到不同位置时将所述表格中的数据进行插值，并将该插值输入至所述闭环自动控制器，由闭环自动控制器控制所述吊框面型补偿单元的补偿力。