[发明专利]圆筒型溅射靶及其制造方法

权利要求书

1.一种圆筒型烧结体的制造方法，其特征在于，

将圆筒轴方向的长度为600mm以上的圆筒型成形体配置于设置有与用于供氧的配管相连接的供氧口的台座上，

在从比在所述圆筒型成形体的圆筒内侧设置的圆筒内周长小的供氧口向所述圆筒轴方向供氧的同时进行烧结。

2.根据权利要求1所述的圆筒型烧结体的制造方法，其特征在于，所述台座配置于腔室中，用于供给所述氧的配管从所述腔室之外连接到所述供氧口。

3.根据权利要求2所述的圆筒型烧结体的制造方法，其特征在于，在向所述圆筒型成形体的圆筒内侧中空部供给所述氧的同时进行烧结。

4.根据权利要求3所述的圆筒型烧结体的制造方法，其特征在于，在从所述圆筒型成形体的所述圆筒轴方向的下方向上方供给所述氧的同时进行烧结。

5.一种溅射靶的制造方法，其特征在于，将通过权利要求1至4中任一项所述的圆筒形烧结体的制造方法制造的所述圆筒型烧结体安装于基材。

6.一种圆筒型烧结体，其特征在于，圆筒轴方向的长度为470mm以上，在所述圆筒轴方向上的相对密度差为0.1％以内。

7.一种圆筒型烧结体，其特征在于，圆筒轴方向的长度为470mm以上，在圆筒内侧面上观察到的孔的面积的当量圆直径平均为1μm以下。

8.根据权利要求7所述的圆筒型烧结体，其特征在于，在所述圆筒内侧面上观察到的孔是指在所述圆筒轴方向的中央部中至少独立的五处、每处为1.176mm²的视野中观察到的孔。

9.一种圆筒型烧结体，其特征在于，圆筒轴方向的长度为470mm以上，在圆筒内侧面上观察到的孔的数量平均为4.25×10^-5个/μm²以下。

10.根据权利要求9所述的圆筒型烧结体，其特征在于，在所述圆筒内侧面上观察到的孔是指在所述圆筒轴方向的中央部中至少独立的五处、每处为1.176mm²的视野中观察到的孔。

11.一种溅射靶，其特征在于，具有根据权利要求6至10中任一项所述的圆筒型烧结体和配置于圆筒内侧中空部的基材。