[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示面板及显示装置

说明书

【技术领域】

本发明涉及触控技术领域，尤其涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板及显示装置。

【背景技术】

随着触控技术领域的发展，具有触控功能的显示面板已经越来越成为主流显示产品。现有的显示面板和触控面板的集成方式一般分为in-cell(内嵌式)和on-cell(盒外式)两种方式，in-cell触摸屏相较于on-cell触摸屏来说更为轻薄。目前，现有技术的in-cell触摸屏的阵列基板至少包括栅极金属层、半导体层、源漏极金属层、第一氮化硅层、像素电极、触控金属层、第二氮化硅层和公共电极。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：

现有技术中阵列基板的制备过程中，在形成上述栅极金属层、半导体层、源漏极金属层、第一绝缘层、像素电极、触控金属层、第二绝缘层和公共电极时，每层均需要使用单独的掩膜版通过相应的构图工艺来制作，工艺流程较为复杂，需要使用数量较多的掩膜版，生产成本高。

【发明内容】

有鉴于此，本发明实施例提供了一种阵列基板及其制备方法、显示面板及显示装置，能够减少掩膜版的使用数量，简化阵列基板的制作过程。

一方面，本发明实施例提供了一种阵列基板，包括：

衬底基板；

位于所述衬底基板上的第一金属层，所述第一金属层包括栅极和栅线；

位于所述第一金属层上的有源层；

位于所述栅极和栅线所在膜层上的像素电极；

位于所述有源层和所述像素电极上的第二金属层，所述第二金属层包括漏极、源极和数据线，其中，所述漏极与所述像素电极电性连接；

位于所述第二金属层上的公共电极层，所述公共电极层包括多个以阵列方式设置的公共电极块，所述公共电极块复用为触控电极；所述阵列基板还包括：

触控走线，位于所述第二金属层；所述触控走线与所述漏极、源极、数据线和像素电极电性绝缘，且通过过孔与所述公共电极层的公共电极块电性连接。

具体地，所述阵列基板还包括：

第一绝缘层，位于所述第一金属层和所述有源层之间。

具体地，所述阵列基板还包括：

第二绝缘层，位于所述公共电极层和所述第二金属层之间；所述第二绝缘层上设有过孔。

具体地，所述漏极与所述像素电极直接电性连接。

具体地，所述触控走线与所述数据线相邻设置，且所述触控走线与所述数据线平行。

另一方面，本发明实施例提供了一种显示面板，包括：上述的阵列基板。

另一方面，本发明实施例提供了一种显示装置，包括：上述的显示面板。

另一方面，本发明实施例提供了一种阵列基板的制作方法，包括：

在衬底基板形成第一金属层，所述第一金属层包括栅极和栅线；

在所述第一金属层上形成有源层；

在所述栅极和栅线所在膜层上形成像素电极；，

在所述有源层和所述像素电极上形成第二金属层和触控走线，其中，所述第二金属层以及包括所述漏极、源极和数据线所在的第二金属层，其中，所述漏极与所述像素电极电性连接；

形成覆盖第二金属层的第二绝缘层，在所述第二绝缘层上形成过孔；在所述第二金属层上形成公共电极层，其中，所述公共电极层包括多个以阵列方式设置的公共电极块，所述公共电极块复用为触控电极，所述公共电极块通过所述过孔与所述触控走线电性连接。

具体地，所述方法还包括：

在所述第一金属层和所述有源层之间形成第一绝缘层。

具体地，所述方法还包括：

在所述公共电极层和所述第二金属层之间形成第二绝缘层，并在所述第二绝缘层上形成过孔。

具体地，所述漏极与所述像素电极直接电性连接。

具体地，所述触控走线与所述数据线相邻设置，且所述触控走线与所述数据线平行。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下有益效果：

本发明实施例提供了一种阵列基板及其制备方法、显示面板及显示装置，通过将漏极、源极、数据线和触控走线同层设置，避免单独设置触控走线所在膜层，故无需使用单独的掩膜版并通过相应的构图工艺来制作触控走线层，能够简化阵列基板的制作过程，降低工艺流程复杂程度，减少掩膜版使用数量，生产成本低。

【附图说明】