[发明专利]触针以及测定方法

说明书

本发明提供触针以及测定方法。触针具备轴部(7)、在轴部的前端配置的单晶金刚石的突出部(2)、以及在突出部的前端配置的单晶金刚石的球状部(1)，在球状部的最前端部配置有{100}面(4)，突出部在比球状部靠轴部侧的环状的区域(30)内分布有{111}面(5)以及{110}面(6)，并且{111}面(5)以及{110}面(6)在环状的区域内突出。

技术领域

本发明涉及触针以及使用触针来测定被测定物的三维形状的测定方法。

背景技术

以往的触针的前端形成有以单晶金刚石为原材料的球状部。使用该球状部测定被测定物的三维形状(例如，日本特许第4794753号)。

然而，在上述的现有例中，难以长期确保触针的可靠性。

发明内容

本发明的目的在于提供能够长期保持高可靠性的触针以及测定方法。

为了实现所述目的，本发明的一个方式的触针具备：轴部；在轴部的前端配置的单晶金刚石的突出部；以及在突出部的前端配置的单晶金刚石的球状部。在球状部的最前端部配置有单晶金刚石的{100}面，突出部在比球状部靠轴部侧的环状的区域内分布有单晶金刚石的{111}面以及单晶金刚石的{110}面，并且{110}面以及{111}面在环状的区域内突出。

如上所述，根据本发明的一个方式的触针以及测定方法，在使用触针实施被测定物的三维形状测定时能够抑制单晶金刚石的磨损，从而能够以长寿命进行测定。

附图说明

图1是用于对在实施方式中制造的触针的形状进行说明的图。

图2是用于对在实施方式中使用的单晶金刚石的晶面进行说明的图。

图3是用于对在实施方式中使用的加工装置和触针的配置进行说明的立体图。

图4是用于对实施方式的第一加工工序的铸件平板和触针的位置进行的俯视图。

图5是用于对实施方式的第二加工工序的铸件平板和触针的位置进行说明的俯视图。

图6是示出在实施方式中制造的触针的球状部以及突出部的形状测定结果的图。

具体实施方式

(本发明的基础见解)

在触针的前端部使用单晶金刚石时，存在晶面导致的硬度差，因此需要研究晶面的配置。然而，在现有例中没有针对硬度差的问题的认识，也没有关于晶面的配置的考虑。

因此，在使触针的前端部与被测定物接触而实施测定时，在前端部中，仅硬度比{111}面或{110}面低的{100}面先磨损，从而存在前端部的精度不均匀而恶化的可能性。

于是，本发明人等进行了深入研究探讨，结果通过根据晶面的硬度而将前端部的晶面设为最佳配置，从而降低了产生不均匀磨损的可能性，实现了能够长期保持高可靠性的触针以及测定方法。

以下，参照图1至图6对实施方式进行说明。

图1是用于对在实施方式中制造的触针3的形状进行说明的图。触针3具备：轴部7；球状部1，其配置在轴部7的前端部且以单晶金刚石为原材料；以及突出部2，其配置在轴部7与球状部1之间的环状的区域30且以单晶金刚石为原材料。触针3使球状部1、或球状部1和突出部2与被测定物的被测定面接触来进行被测定物的三维测定。

球状部1是最前端部由单晶金刚石的{100}面4(以下简称为{100}面4)构成的球状的面。