[发明专利]快门单元、光刻装置及物品的制造方法

权利要求书

1.一种用于光刻装置的快门单元，所述快门单元在对来自光源的光的透射与光的遮挡之间进行切换，所述快门单元包括：

电机，其被构造为可旋转地驱动轴；

附装到所述轴的多个快门构件，所述多个快门构件包括遮光部并且被构造为通过使得遮光部被布置在光的光路上的方式而旋转所述轴来遮挡光；以及

隔板，其以避开光通过的部分的方式被布置在所述多个快门构件之间的位置处，并且，所述隔板被构造为遮挡从所述多个快门构件当中的、布置在当从光源侧观看时的隔板的前方的快门构件泄漏的光。

2.根据权利要求1所述的快门单元，所述快门单元还包括：

第二隔板，其被布置在所述多个快门构件中的、当从光源侧观看时的最前段的快门构件的前面。

3.根据权利要求2所述的快门单元，所述快门单元还包括：

第三隔板，其被布置在所述多个快门构件中的、当从光源侧观看时的最后段的快门构件的后面。

4.根据权利要求1所述的快门单元，其中，所述多个快门构件中的、除了当从光源侧观看时的最前段的快门构件之外的快门构件，包括被构造为吸收入射光的吸光构件。

5.根据权利要求1所述的快门单元，其中，所述轴相对于光路倾斜地布置。

6.一种在基板上形成原版的图案的光刻装置，所述光刻装置包括：

照明光学系统，其被构造为对原版进行照明，

所述照明光学系统包括快门单元，所述快门单元被构造为在对来自光源的光的透射与光的遮挡之间进行切换，

所述快门单元包括：

电机，其被构造为可旋转地驱动轴；

附装到所述轴的多个快门构件，所述多个快门构件包括遮光部并且被构造为通过使得遮光部被布置在光的光路上的方式而旋转所述轴来遮挡光；以及

隔板，其以避开光通过的部分的方式被布置在所述多个快门构件之间的位置处，并且，所述隔板被构造为遮挡从所述多个快门构件当中的、布置在当从光源侧观看时的隔板的前方的快门构件泄漏的光。

7.一种物品的制造方法，包括以下步骤：

通过使用光刻装置在基板上形成原版的图案；以及

对通过形成步骤形成有图案的基板进行处理，其中，所述物品由处理后的基板制造，

所述光刻装置包括被构造为对原版进行照明的照明光学系统，

照明光学系统包括快门单元，所述快门单元被构造为在对来自光源的光的透射与光的遮挡之间进行切换，

所述快门单元包括：

电机，其被构造为可旋转地驱动轴；

附装到所述轴的多个快门构件，所述多个快门构件包括遮光部并且被构造为通过使得遮光部被布置在光的光路上的方式而旋转所述轴来遮挡光；以及

隔板，其以避开光通过的部分的方式被布置在所述多个快门构件之间的位置处，并且，所述隔板被构造为遮挡从所述多个快门构件当中的、布置在当从光源侧观看时的隔板的前方的快门构件泄漏的光。

8.一种用于光刻装置的快门单元，所述光刻装置在基板上形成原版的图案，所述快门单元包括：

遮挡板，其被构造为以避开来自光源的光通过的部分的方式被布置；以及

快门，其具有第一遮光部和第二遮光部彼此叠置的结构，

其中，在所述快门关闭的同时，所述遮挡板的一部分和所述光通过的部分位于所述第一遮光部与所述第二遮光部之间的位置。

9.根据权利要求8所述的快门单元，其中，从光入射侧按顺序布置所述第一遮光部、所述遮挡板以及所述第二遮光部，并且在所述快门关闭的状态下泄露的光在所述第一遮光部与所述第二遮光部之间以及在所述第二遮光部与所述遮挡板之间反射。

10.根据权利要求8所述的快门单元，所述快门单元还包括：

电机，其具有旋转轴，所述第一遮光部和所述第二遮光部固定到所述旋转轴，其中，所述旋转轴穿过所述遮挡板，并且所述遮挡板布置在所述第一遮光部与所述第二遮光部之间。