[发明专利]一种掺Ti类金刚石涂层的硬质合金圆锯片及其制作方法

权利要求书

1.一种掺Ti类金刚石涂层的硬质合金圆锯片，包括锯片本体，其特征在于，锯片本体由内向外依次涂覆有Ti/TiC过渡层和类金刚石膜，所述类金刚石膜内掺杂有Ti。

2.根据权利要求1所述的掺Ti类金刚石涂层的硬质合金圆锯片，其特征在于，所述类金刚石膜厚度为1.5～3um。

3.根据权利要求1所述的掺Ti类金刚石涂层的硬质合金圆锯片，其特征在于，所述类金刚石膜内中Ti含量为10～20％。

4.一种掺Ti类金刚石涂层的硬质合金圆锯片的制作方法，其特征在于，步骤包括

(1)对锯片本体进行清洗；

(2)对锯片本体进行预热；

(3)对锯片本体外表面涂覆Ti/TiC过渡层；

(4)在Ti/TiC过渡层外侧进一步涂覆类金刚石膜。

5.根据权利要求4所述的掺Ti类金刚石涂层的硬质合金圆锯片的制作方法，其特征在于，所述步骤(1)中，将锯片本体放在丙酮中超声波清洗15～30min，去除表面油污，并烘干。

6.根据权利要求4所述的掺Ti类金刚石涂层的硬质合金圆锯片的制作方法，其特征在于，所述步骤(2)中，将预处理好后的锯片放入磁控溅射气相沉积设备中的工件架上，抽真空达到1～3×10^-3pa，真空室温度150℃后，通入氩气，氩气流量为50～100SCCM，当真空室气压达到2～5pa时，打开偏压，偏压-500～-1000V，设定偏空比60％，对锯片表面进行氩等离子溅射清洗，持续时间20～40min。

7.根据权利要求4所述的掺Ti类金刚石涂层的硬质合金圆锯片的制作方法，其特征在于，所述步骤(3)中，调节气压至5～8×10^-1pa，开启磁控溅射气相沉积设备上Ti靶和石墨靶的电源，沉积Ti/TiC过渡层。

8.根据权利要求7所述的掺Ti类金刚石涂层的硬质合金圆锯片的制作方法，其特征在于，所述步骤(3)中，沉积TiC层时逐渐减小Ti靶的功率，同时逐渐增加石墨靶的功率，Ti靶电流30～50A，石墨靶功率1.5～3kw，沉积时间20～30min。

9.根据权利要求7所述的掺Ti类金刚石涂层的硬质合金圆锯片的制作方法，其特征在于，所述步骤(4)中，在沉积过程中，本体真空为1～3×10^-3pa，放电气压0.5pa，氩气和甲烷混合气氛，偏压-500～-1000v，Ti靶电流15～30A，石墨靶功率3～8Kw，沉积时间120～180min。