[发明专利]用于抑制横模的表面声波装置

说明书

技术领域

本发明涉及表面声波装置，尤其涉及通过抑制不必要的横模，减少在通带中出现的波纹，并改善插入损耗来消除杂散(spurious)的表面声波装置。

背景技术

表面声波装置将电能转换为声波能，或者将声波能转换为电能。例如，如图1中所示的表面声波装置包括：压电基板10、形成在基板10上彼此相对的母线21和22以及分别连接到母线21和22交替布置的交指型电极31和32。

表面声波装置的问题之一是不必要的横模。横模产生杂散响应，引起不期望的波纹，或增加插入损耗。这种现象对表面声波装置的性能具有不良影响。

作为用于抑制表面声波装置中的横模的方法之一，标题为“Design Modeling and Visualization for Low Transverse Modes R-SPUDT devices”的文献提供了所谓的活塞模式(piston mode)，其中在换能器的边缘添加了波速减小区，以产生速度在开口处正常并且随着朝向外部而减小的模式。然而，由于图案复杂而难以实现该文献中所公开的结构，并且发生故障的概率高。

发明内容

本发明的一个方面是提供一种能够通过较简单的结构抑制横模的表面声波装置。

本发明的一个方面提供一种表面声波装置，包括：压电基板、形成在压电基板上的彼此相对的第一母线和第二母线、电连接到第一母线并且从第一母线向第二母线延伸的多个第一交指型电极以及电连接到第二母线并且从第二母线向第一母线延伸的多个第二交指型电极，其中第一交指型电极和第二交指型电极是交替布置的。这里，第一交指型电极和第二交指型电极的中心区、在该中心区和第一母线之间的第一边缘区以及在该中心域和第二母线之间的第二边缘区是根据波传播方向界定的。此外，仅在第一边缘区中的第一交指型电极和第二边缘区中的第二交指型电极形成有突出部，以使第一边缘区和第二边缘区中的波速小于中心区中的波速。

突出部的宽度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的宽度。

突出部的厚度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的厚度。

突出部的宽度和厚度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的宽度和厚度。

本发明的另一方面提供一种表面声波装置，包括：压电基板、形成在压电基板上的彼此相对的第一母线和第二母线、电连接到第一母线并且从第一母线向第二母线延伸的多个第一交指型电极以及电连接到第二母线并且从第二母线向第一母线延伸的多个第二交指型电极，其中第一交指型电极和第二交指型电极是交替布置的。这里，第一交指型电极和第二交指型电极的中心区、在中心区和第一母线之间的第一边缘区以及在中心区和第二母线之间的第二边缘区是根据波传播方向界定的。此外，仅在第一边缘区中的第二交指型电极和第二边缘区中的第一交指型电极形成突出部，以使第一边缘区和第二边缘区中的波速小于中心区中的波速。

突出部的宽度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的宽度。

突出部的厚度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的厚度。

突出部的宽度和厚度可以大于第一交指型电极和第二交指型电极的在中心区中的宽度和厚度。

附图说明

通过参考附图详细描述本发明的示例性实施例，本发明的上述和其它目的、特征和优点对于本领域普通技术人员将变得更加显而易见，其中：

图1示出一般表面声波装置的结构的例子；

图2是示出根据本发明的第一实施例的表面声波装置的结构的视图；

图3是示出根据本发明的第二实施例的表面声波装置的结构的视图；

图4是示出根据本发明的第三实施例的表面声波装置的结构的视图；

图5是示出根据本发明的第四实施例的表面声波装置的结构的视图；

图6是示出根据本发明的第五实施例的表面声波装置的结构的视图；以及

图7是示出根据本发明的第六实施例的表面声波装置的结构的视图。

具体实施方式

下面将参照附图详细描述本发明的示例性实施例。在下面的描述和附图中，基本相同的部件将用相同的附图标记表示，并且将省略其重复描述。此外，在本发明的实施例的所有描述中，当认为对本领域公知的功能和部件的详细说明可能会不必要地使本发明的本质模糊时将被省略。

图2是示出根据本发明的第一实施例的表面声波装置的结构的视图。