[发明专利]玻璃清洗干燥设备有效

专利信息
申请号: 201710103441.8 申请日: 2017-02-24
公开(公告)号: CN106871620B 公开(公告)日: 2019-05-24
发明(设计)人: 郑琼;梅澎;朱晓江 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: F26B15/18 分类号: F26B15/18;F26B21/00;F26B25/00;B08B3/02;B08B11/04
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 玻璃 清洗 干燥设备
【说明书】:

发明提供一种玻璃清洗干燥设备,通过在承载传输带的基台上设置至少一组定位组件,传输带用于传输玻璃,每组所述定位组件包括相对设置的第一固定件和第二固定件,所述第一固定件和所述第二固定件分别位于所述传输带的上方和下方,以使玻璃从所述第一固定件和所述第二固定件之间通过时将玻璃夹于其间;其中所述至少一组定位组件位于所述基台的进料侧且靠近风刀设置,通过上述方式能够在加大风刀风力时减小玻璃的抖动,从而可以减少玻璃表面残留的水渍,并且能够降低玻璃损伤的几率,提高产品质量。

技术领域

本发明涉及显示面板制造技术领域,特别是涉及一种玻璃清洗干燥设备。

背景技术

在显示面板的制造过程中,玻璃基板(例如彩膜玻璃基板)的清洗干燥是制程前最重要的工艺之一。目前在清洗机清洗玻璃基板后,会有一个最终清洗(final rinse)工艺,即给玻璃基板的上表面均匀喷上一层水膜,使玻璃基板湿润,防止从清洗完到风刀(AK)段有颗粒物(particle)掉落。之后利用风刀将水膜吹干,以全面性地带走玻璃基板上的脏污。

然而,如果该层水膜没有被吹干,将会在玻璃基板上形成水残,导致后续制程中光阻的附着性较差,从而在显影时容易出现大量剥落,并且若水残面积较大,光阻涂布机则会判断检测到异物,造成机器死机或停机,影响产线稼动率,生产效率降低。

为尽可能减少玻璃基板上残留的水渍,现有技术通常采用加大风刀风力的方式,将水膜吹干。然而,采取此种方式容易使玻璃基板发生抖动而被划伤膜面,造成基板损坏。

发明内容

本发明的目的在于提供一种玻璃清洁干燥设备,能够在加大风刀风力时减小玻璃的抖动,从而可以减少玻璃表面残留的水渍,并且能够降低玻璃损伤的几率,提高产品质量。

本发明提供一种玻璃清洗干燥设备,包括:

基台;

传输带,设置在所述基台上,用于承载并传送玻璃;

风刀,沿玻璃的传输方向设置且位于所述传输带的上方,用于在玻璃的整个宽度方向上,对传输至所述风刀下方的玻璃喷射干燥气体;

至少一组定位组件,设置在所述基台上,每组所述定位组件包括相对设置的第一固定件和第二固定件,所述第一固定件和所述第二固定件分别位于所述传输带的上方和下方,以使玻璃从所述第一固定件和所述第二固定件之间通过时将玻璃夹于其间;

其中,所述基台以对应于所述风刀的位置为界限分为进料侧和出料侧,玻璃从所述进料侧向所述出料侧传输,所述至少一组定位组件位于所述基台的进料侧且靠近所述风刀设置。

在本发明所述的玻璃清洗干燥设备中,还包括:

升降装置,与所述基台连接,用于在玻璃传送至所述风刀的下方之前抬升所述出料侧的基台,以使得所述基台自所述进料侧向所述出料侧向上倾斜。

在本发明所述的玻璃清洗干燥设备中,所述风刀通过支撑架设置在所述基台上。

在本发明所述的玻璃清洗干燥设备中,所述风刀的长度方向与玻璃的宽度方向之间具有不为零的夹角。

在本发明所述的玻璃清洗干燥设备中,所述风刀的长度方向与玻璃的宽度方向之间的夹角为3°~8°。

在本发明所述的玻璃清洗干燥设备中,所述第一固定件和所述第二固定件均为滚轮。

在本发明所述的玻璃清洗干燥设备中,所述定位组件的数量为两组,两组所述定位组件分别位于所述传输带的相对两侧边缘。

在本发明所述的玻璃清洗干燥设备中,还包括:

水洗室,封闭地包围所述传输带;

干燥室,封闭地包围所述传输带;

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