[发明专利]包括升起的电连接垫的、用于检测电磁辐射的装置

权利要求书

1.一种用于检测电磁辐射的检测装置(1)，包括：

-位于衬底(2)中的读出电路(10)；

-放置在所述衬底(2)上的电连接垫(30)，其包括在所述衬底(2)之上升起并电连接到所述读出电路(10)的金属部分(31)；

其中：

-保护壁(34)在升起的金属部分(31)下方延伸，以便与其一起限定腔(3)的至少一部分，所述保护壁具有第一纵向尺寸和在平行于所述衬底(2)的平面中的第一厚度，所述第一纵向尺寸大于所述第一厚度；

-由允许形成金属间介电层并且能够通过化学侵蚀而被蚀刻的矿物材料制成的加强层部分(4)位于所述腔(3)中，升起的金属部分(31)置于所述加强层部分上。

2.根据权利要求1所述的检测装置(1)，其中所述加强层部分(4)具有大于或等于所述升起的金属部分(31)的、被称为下表面(33)的表面的表面范围的25％的表面范围，所述下表面朝向衬底(2)。

3.根据权利要求1或2所述的检测装置(1)，其中所述保护壁(34)连续延伸以限定封闭的腔(3)。

4.根据权利要求1或2所述的检测装置(1)，其中所述保护壁(34)连续延伸以限定局部打开的腔(3)。

5.根据权利要求1或2所述的检测装置(1)，包括放置在所述衬底(2)上并且通过所述读出电路(10)电连接到所述电连接垫(30)的至少一个热检测器(20)，并且包括适于吸收待检测电磁辐射的吸收膜(21)，所述吸收膜以距所述衬底(2)等于将所述升起的金属部分(31)与所述衬底分离的距离的距离悬置在所述衬底(2)之上。

6.根据权利要求1或2所述的检测装置(1)，其中所述保护壁(34)由导电材料制成，所述保护壁将所述电连接垫(30)电连接到所述读出电路(10)。

7.根据权利要求1或2所述的检测装置(1)，其中所述保护壁(34)环绕至少一个导电通孔(32)，所述至少一个导电通孔将所述升起的金属部分(31)电连接到所述读出电路(10)的金属线的下面部分(11b)。

8.根据权利要求1或2所述的检测装置(1)，其中所述电连接垫(30)在所述腔(3)外部不包括加强层部分(4)。

9.根据权利要求1或2所述的检测装置(1)，其中所述保护壁(34)包括多个直线部段，每个部段具有第二纵向尺寸和在与所述衬底(2)平行的平面中的第二厚度，该第二纵向尺寸大于该第二厚度。

10.根据权利要求1所述的检测装置(1)，其中所述加强层部分(4)具有大于或等于所述升起的金属部分(31)的、被称为下表面(33)的表面的表面范围的50％的表面范围，所述下表面朝向衬底(2)。

11.根据权利要求1所述的检测装置(1)，其中所述加强层部分(4)具有大于或等于所述升起的金属部分(31)的、被称为下表面(33)的表面的表面范围的75％的表面范围，所述下表面朝向衬底(2)。

12.一种用于制造根据前述权利要求1至11中任一项所述的检测装置(1)的方法，包括：

-在覆盖包含所述读出电路(10)的衬底(2)的蚀刻阻挡层(5)上沉积牺牲层(7)；

-穿过所述牺牲层形成保护壁(34)，以便随后限定腔(3)的至少一部分；

-在所述牺牲层(7)上形成升起的金属部分(31)，使得其置于所述保护壁(34)上并参与所述腔(3)的限定；

-至少部分地蚀刻所述牺牲层(7)，在该蚀刻步骤之后，位于所述腔(3)中的所述牺牲层的称为加强层部分的部分未被蚀刻。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述牺牲层(7)由矿物材料制成，并且其中所述蚀刻步骤通过在酸性介质中的化学侵蚀执行。