[发明专利]可控制加热能量的微机电装置

权利要求书

1.一种微机电装置，其特征在于，包括：

传感器，包括：

感测元件；

加热元件，用以加热该感测元件；以及

至少一检测元件，用以检测至少一物理量；以及

集成电路芯片，包括：

存储器单元，存储该感测元件的至少一目标值；

数据处理单元，其中该数据处理单元将该至少一物理量转换成至少一转换值，并定义至少一差距值为该至少一目标值减去该至少一转换值；

控制单元，依据该至少一差距值设定至少一参数值；以及

驱动单元，依据该至少一参数值驱动该加热元件以调整该加热元件所产生的热量。

2.如权利要求1所述的微机电装置，其特征在于，其中该至少一检测元件为功率计，且该至少一物理量为该加热元件的功率。

3.如权利要求1所述的微机电装置，其特征在于，其中该至少一检测元件为温度计，且该至少一物理量为该感测元件的温度。

4.如权利要求1所述的微机电装置，其特征在于，其中该至少一检测元件包括功率计以及温度计，该功率计用以检测该加热元件的功率，且该温度计用以检测该感测元件的温度。

5.如权利要求2所述的微机电装置，其特征在于，其中该至少一差距值为第一热量差。

6.如权利要求2所述的微机电装置，其特征在于，其中该功率计至该加热元件的最短距离大于该感测元件至该加热元件的最短距离。

7.如权利要求2所述的微机电装置，其特征在于，其中该功率计电性串联该加热元件，且该功率计的电阻值小于该加热元件的电阻值。

8.如权利要求5所述的微机电装置，其特征在于，其中该至少一参数值包括电压与时间，该控制单元用以依据焦耳热方程式调整该电压与该时间，且该焦耳热方程式包括该第一热量差、第一电阻值及第一电压值。

9.如权利要求8所述的微机电装置，其特征在于，其中该电压与该时间满足下列方程式：

其中，ΔQ₁为该第一热量差，V为该电压，R_p为该第一电阻值，V_p为当该加热元件加热时跨接该功率计的该第一电压值，且t为该时间。

10.如权利要求3所述的微机电装置，其特征在于，其中该至少一差距值为温度差。

11.如权利要求3所述的微机电装置，其特征在于，其中该温度计设置于该加热元件与该感测元件之间。

12.如权利要求10所述的微机电装置，其特征在于，其中该至少一参数值包括电压与时间，该控制单元用以依据该温度差所对应的至少一数据调整该电压与该时间，且该至少一数据存储于该存储器单元中。

13.如权利要求4所述的微机电装置，其特征在于，其中该至少一差距值包括第一热量差以及第二热量差。

14.如权利要求4所述的微机电装置，其特征在于，其中该功率计电性串联该加热元件，且该功率计的电阻值小于该加热元件的电阻值。

15.如权利要求13所述的微机电装置，其特征在于，其中该至少一参数值包括电压与时间，该控制单元用以依据该第一热量差以及该第二热量差调整该电压与该时间。