[发明专利]一种用于导模炉的同轴电极有效
| 申请号: | 201710091492.3 | 申请日: | 2017-02-21 |
| 公开(公告)号: | CN106702477B | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
| 发明(设计)人: | 刘朝轩;王晨光 | 申请(专利权)人: | 洛阳金诺光电子材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 471000 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 导模炉 同轴 电极 | ||
一种用于导模炉的同轴电极,本发明通过在电极主体(11)上设有电极穿孔,在所述电极穿孔内设有绝缘套,所述绝缘套内设有右电极(13),在电极穿孔的下端设有密封套(15),所述密封套的外缘面与电极穿孔的内缘面之间设有密封体,密封套的内缘面与右电极的外缘面之间设有密封体,在电极穿孔的一侧设有至少一个冷却孔A(5),所述冷却孔A上端连接左电极(3),本发明通过在电极主体的外缘面上设置与右电极平行的左电极,大大简化了电极结构,进一步,由于电极主体为圆柱形结构,大大提高了电极与炉室之间的密封性能,有效的防止了炉室的泄漏等,本发明具有结构简单,密封性能好和装拆方便的特点。
【技术领域】
本发明涉及一种同轴电极,尤其涉及一种用于导模炉的同轴电极,具体涉及一种拉制蓝宝石晶体的导模炉用同轴电极。
【背景技术】
已知的,在科技飞速发展的今天,晶体的应用非常广泛,从航海到航天、从微电子到光电子、从自动控制到智能技术、从计算机到通讯、从生命科学到医疗技术、从民用技术到国防科技没有哪一门高新技术能离开晶体材料,不同的晶体具有不同的本领,各种各样的人工晶体在现代科学技术中各领风骚;以蓝宝石为例,因蓝宝石具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,其强度高、硬度大、耐冲刷和抗腐蚀,可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作,而且其还具有良好的热传导性和电气绝缘性,最重要的是蓝宝石还具有良好的透光性,被广泛的应用于红外窗口、高强度光学窗口和医疗器械等技术领域;
而蓝宝石在生长时需要借助单晶炉来实现,那么单晶炉就成了LED产业链中重要的晶体生长设备,由于蓝宝石单晶体必须在高温与惰性气体保护的条件下缓慢生长而成,因此与加热器相连接的电极,其密封性、导电性和耐热性等极为重要。目前,蓝宝石炉所使用的电极大多都存在结构复杂,尺寸较大,安装麻烦等弊端,同时,由于电极密封性能不好,极易在接触面出现泄漏等。
【发明内容】
鉴于背景技术中存在的不足,本发明公开了一种用于导模炉的同轴电极,本发明通过在电极主体上设置右电极,在电极主体的外缘面上设置与右电极平行的左电极,右电极与电极主体通过绝缘套隔离,大大简化了电极结构,由于电极主体为圆柱形结构,大大提高了电极与炉室之间的密封性能,有效的防止了炉室的泄漏和降低了电极拆装的难度等。
为了实现上述发明的目的,本发明采用如下技术方案:
一种用于导模炉的同轴电极,包括左电极、电极主体、右电极和绝缘套,在电极主体上设有电极穿孔,在所述电极穿孔内设有绝缘套,所述绝缘套内设有右电极,在电极穿孔的下端设有密封套,所述密封套的外缘面与电极穿孔的内缘面之间设有密封体,密封套的内缘面与右电极的外缘面之间设有密封体,在电极穿孔的一侧设有至少一个冷却孔A,所述冷却孔A上端连接左电极形成所述的用于导模炉的同轴电极。
所述的用于导模炉的同轴电极,所述冷却孔A呈扇形间隔设置为三个,在三个冷却孔A的上端设有贯通三个冷却孔A的弧形槽A,所述弧形槽A的上端通过盖板密封,在弧形槽A的一侧设有通孔,所述通孔连接左电极,在三个冷却孔A的下端设有贯通三个冷却孔A的弧形槽B,在所述弧形槽B的开口端设有盖板,所述盖板上设有通孔,所述通孔连接接头A。
所述的用于导模炉的同轴电极,所述密封体为O型密封圈。
所述的用于导模炉的同轴电极,所述密封套通过锁紧环固定在电极穿孔上。
所述的用于导模炉的同轴电极,所述绝缘套包括绝缘套上段、绝缘套中段和绝缘套下段,所述绝缘套上段的上端设有环形凸台,在绝缘套上段的下端设有绝缘套中段,所述绝缘套中段的下端设有绝缘套下段,在绝缘套下段的下端设有密封套。
所述的用于导模炉的同轴电极,所述电极主体为圆柱形结构,在电极主体的外缘面上设有电极固定套,所述电极固定套连接炉体。
所述的用于导模炉的同轴电极,所述左电极上端的外缘面上设有螺纹,在左电极上端的中部设有贯通至冷却孔A的孔,在孔的外围设有环形槽A。
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