[发明专利]地毯用自清洁抗菌效应的绒毛面层的制备方法

权利要求书

1. 地毯用自清洁抗菌效应的绒毛面层的制备方法，其特征在于：所述制备方法按以下步骤进行：

步骤A 绒毛面层的清洁化处理

按浴比为1:50-100将绒毛面层置于有机溶剂中超声清洗30-60min，然后在45-80℃条件下干燥2-4h；再将干燥后的绒毛面层按浴比为1:50-100在去离子水中超声清洗30-60min，然后在80-100℃条件下干燥6-10h；

步骤B 绒毛面层的抗菌整理

ZnO薄膜的原子层沉积：

设定的原子层沉积参数为：反应温度： 60-300℃；

反应源：采用纯度大于97% 的Zn(CH₃)₂或Zn(C₂H₅)₂或Zn(CH₃COO)₂为第一前躯体，H₂O或二元醇为第二前驱体，其中，第一前躯体和第二前躯体的源温均为室温；

载气：10-150sccm的高纯氮气，高纯氮气的纯度为99.999%；

将经步骤A得到的绒毛面层放入原子层沉积设备的反应腔，用高纯氮气吹扫3-10min，然后将第一前躯体以脉冲形式送入反应腔体，脉冲时间为0.1-0.4s，暴露时间为15-38s,再用高纯氮气吹扫，吹扫时间为30-50s；再将第二前驱体以脉冲形式送入反应腔体，脉冲时间为1-5s，暴露时间为20-60s，再用高纯氮气吹扫，吹扫时间为20-60s，完成了一次沉积循环；完成了一次沉积循环后，重复上述循环100-10000次，即完成在绒毛面层上沉积氧化锌薄膜；

步骤C 抗菌绒毛面层的表面修饰

Al₂O₃薄膜的原子层沉积：

设定的原子层沉积参数为：

反应温度： 60-400℃；

反应源：采用1.0M-5.0M的Al(CH₃)₃/庚烷溶液或AlCl₃/庚烷溶液或Al(CH₃)₂Cl/庚烷溶液为第一前躯体，H₂O为第二前驱体，其中，第一前躯体和第二前躯体的源温均为室温；

载气：10-150sccm的高纯氮气，高纯氮气的纯度为99.999%；

将经步骤B得到的表面沉积有功能纳米ZnO薄膜的绒毛面层放入原子层沉积设备的反应腔，用高纯氮气吹扫25-30min，然后将第一前躯体以脉冲形式送入反应腔体，脉冲时间为0.005-0.02s，暴露时间为5-12s, 再用高纯氮气吹扫，吹扫时间为10-35s；再将第二前驱体以脉冲形式送入反应腔体，脉冲时间为0.05-0.2s，暴露时间为8-15s，再用高纯氮气吹扫，吹扫时间为15-30s，完成了一次沉积循环；完成了一次沉积循环后，重复上述循环100-10000次，即完成在氧化锌薄膜上沉积氧化铝薄膜。

2.如权利要求1所述的地毯用自清洁抗菌效应的绒毛面层的制备方法，其特征在于：所用有机溶剂为乙醇或丙醇或乙醚或丙酮或氯仿中的一种。

3.如权利要求1所述的地毯用自清洁抗菌效应的绒毛面层的制备方法，其特征在于：所述的绒毛面层材质为蚕丝材质、绵羊毛材质、纯棉材质、椰纤材质、竹纤材质、麻纤材质、锦纶材质、涤纶材质、丙纶材质、腈纶材质、橡胶植绒材质、维纶材质、氨纶材质、粘胶材质中的一种。

4.如权利要求1所述的地毯用自清洁抗菌效应的绒毛面层的制备方法，其特征在于：通过对ZnO和Al₂O₃薄膜的原子层沉积过程的多次重复，精准控制功能薄膜的厚度。

5.如权利要求1所述的地毯用自清洁抗菌效应的绒毛面层的制备方法，其特征在于：所述的 ZnO薄膜每一个沉积循环生长厚度为0.08-0.12nm，Al₂O₃薄膜每一个沉积循环生长厚度为0.08-0.2nm。