[发明专利]一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法

说明书

本发明公开了一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，包括以下步骤：（1）产品受入；（2）抛光清洗前处理；（3）聚氨酯贴膜；（4）脱脂；（5）水洗；（6）碱洗；（7）水洗；（8）酸洗；（9）水洗；（10）化学抛光；（11）水洗；（12）钝化；（13）水洗1；（14）水洗2；（15）阳极氧化；（16）水洗1；（17）水洗2；（18）封孔；（19）水洗；（20）抛磨清洗；（21）超音波清洗；（22）吹干；（23）烘烤；（24）包装。本发明与现有技术相比，具有以下有益效果：本发明再生维修的壁板耐候性强，客户在使用过程中没有出现起皮现象，得到了市场的广泛认可。

技术领域

本发明涉及一种再生处理方法，尤其涉及一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法。

背景技术

目前国内TFT行业蓬勃发展，太阳能类产品也如日中天，但是给这些行业提供相应配套的电子零部件翻修服务的企业很少，尤其是国内的本土行业更是少之又少，TFT行业和太阳能类行业一直面对国外厂商的竞争，尤其是价格的竞争，所以各厂商急需寻找服务能力强而价格上又能有竞争力的供应商，目前少有的几家供应商都是日资、韩资、台资企业，而本土的公司基本没有，在此背景下，我公司决定研发真空设备工艺腔壁板、电机板等电子部件的表面清洗和阳极氧化等表面处理翻修工作。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，对真空设备工艺腔室壁板进行翻修再生。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：

一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，包括以下步骤：

1.产品受入，侧框架拆除；

2.抛光清洗前处理，人工用手持抛光机去除零部件表面的污渍，抛光过程中喷淋纯水，无粉尘产生；

3.聚氨酯贴膜，用聚氨酯贴膜贴在工件上，将不需要氧化的地方遮蔽；

4.脱脂，5％氢氧化钠的稀溶液加热，工件浸泡，浸泡2min～3min，去除表面油脂；

5.水洗，常温纯水浸洗，水洗1min，清洗表面的脱脂残留液体；

6.碱洗，10％氢氧化钠溶液，加热到50℃,工件浸泡，浸泡1min～2min，去除表面的氧化层；

7.水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的氢氧化钠残留液体；

8.酸洗，10％硝酸稀溶液加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min～3min，去除碱洗槽中产生的生成物；

9.水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的硝酸残留液体；

10.化学抛光，化抛槽内加入8％的化学抛光液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡1min～2min，以降低表面粗糙度；

11.水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的化学抛光液残留液体；

12.钝化，50％的浓硝酸液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min～3min，使工件表面产生钝化层，更容易成膜；

13.水洗1，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硝酸溶液；

14.水洗2，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，进一步清洗工件表面残留的硝酸溶液；

15.阳极氧化，工件通电，表面长出一层氧化铝膜；

16.水洗1，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硫酸溶液；

17.水洗2，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，同时对工件进行预热；

18.封孔，采用100℃的超纯水沸水进行封孔；