[发明专利]一种玻璃热收缩测试标记的制作方法

说明书

本发明涉及玻璃制造技术领域，公开了一种玻璃热收缩测试标记的制作方法，该方法包括：在玻璃成型过程中，在玻璃粘度为25000‑40000p，优选为28000‑38000p的区域，采用针刺的方式或喷气的方式在玻璃上形成凸起或凹陷的标记。该方法可以划出粗细及深度适当的标记线，采用的装置简单，制作成本较低，并且具有较好的重复性。

技术领域

本发明涉及玻璃制造技术领域，具体地，涉及一种玻璃热收缩测试标记的制作方法。

背景技术

随着光电行业的快速发展，对各种显示器件的需求正在不断增长，比如有源矩阵液晶显示(AMLCD)、有机发光二极管(OLED)以及应用低温多晶硅技术的有源矩阵液晶显示(LTPS TFT-LCD)器件，这些显示器件都基于使用薄膜半导体材料生产薄膜晶体管(TFT)技术。

主流的硅基TFT可分为非晶硅(a-Si)TFT、多晶硅(p-Si)TFT和单晶硅(SCS)TFT，其中非晶硅(a-Si)TFT为现在主流TFT-LCD应用的技术，其生产制程可以在300～450℃温度下完成。对于像素密度不超过300ppi的显示产品，非晶硅(a-Si)TFT游刃有余；但是当像素密度超过400ppi后，就需要电子迁移率更高的多晶硅技术支撑。LTPS(p-Si)TFT在制程过程中需要在450～600℃温度下多次处理，表面必须在多次高温处理过程中不能发生显著的变形，对表面玻璃热稳定性和尺寸稳定性提出更高的要求，也即表面必须具有足够小的“热收缩”，一般的，要求热收缩率不超过10ppm、5ppm甚至更低。

因此，在研发或生产过程中，需要测试或监控玻璃收缩率，目前常使用面板制造商镀膜的方式进行热收缩测试，或者，在玻璃表面上制作耐受高温的特征标记，然后通过光学或其他方式测试玻璃表面在高温热处理前后热收缩率。但是，前者的投资过于高昂且浪费资源，并非最优选择。然而，后者在标记制作方面，仍然存在较多问题，现有技术多使用激光打标的标记方式，比如皮秒激光器或飞秒激光器，主要缺陷在于：激光器功率过大时划线过粗且崩边严重，影响微观尺寸测试的精度；激光器功率过小时难以划刻出足够清晰的痕迹，影响微观尺寸测试的精度；另一方面，激光器的成本依然过高。

发明内容

本发明的目的是提供一种玻璃热收缩测试标记的制作方法，该方法可以解决现有技术中存在的制作成本较高，划线过粗且崩边严重、划线过细标记不够清晰的问题，可以制作出粗细及深度适当的标记线，采用的装置简单，制作成本较低，并且具有较好的重复性。

为了实现上述目的，本发明提供了一种玻璃热收缩测试标记的制作方法，其中，该方法包括：在玻璃成型过程中，在玻璃粘度为25000-40000p，优选为28000-38000p的区域，采用针刺的方式或喷气的方式在玻璃上形成凸起或凹陷的标记。

进一步地，所述针刺的方式所采用的装置包括导轨、设置在导轨上的安装平台、固定在安装平台上的杆状物以及安装在杆状物端部的尖状物，所述安装平台能够沿着所述导轨滑动；在形成标记的过程中，所述尖状物与玻璃表面接触并发生相对移动。

进一步地，所述尖状物的直径为30-150μm；优选地，所述尖状物的材质为铂金或铂铑合金；优选地，所述尖状物是可伸缩的。

进一步地，在形成标记的过程中，针刺的压力为0.01-10N，优选为1-7N；优选地，所述针刺的方式所采用的装置还包括压力传感器和控制终端，通过所述压力传感器反馈所述尖状物针刺的压力，并通过所述控制终端调整所述尖状物针刺的压力。

进一步地，所述喷气的方式所采用的装置包括导轨、设置在导轨上的安装平台、固定在安装平台上的杆状物以及安装在杆状物端部的空心管，所述安装平台能够沿着所述导轨滑动；在形成标记的过程中，通过所述空心管向玻璃表面喷吹气体。

进一步地，所述杆状物为空心结构，空心管的头部孔径为30-150μm；优选地，所述空心管的材质为铂金或铂铑合金。