[发明专利]一种减缓铝腐蚀的显影液

权利要求书

1.一种减缓铝腐蚀的显影液，其特征在于配方包括：1-10wt％氢氧化季铵，0.1-10wt％缓蚀剂，0.01-3wt％表面活性剂以及余量的去离子水。

2.根据权利要求1所述的减缓铝腐蚀的显影液，其特征在于：所述氢氧化季铵至少包括四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、乙基三甲基氢氧化铵、二乙基二甲基氢氧化铵、甲基三丙基氢氧化铵、丁基三甲基氢氧化铵、甲基三丁基氢氧化铵、(2-羟基乙基)三甲基氢氧化铵、(2-羟基乙基)三乙基氢氧化铵、(3-羟基丙基)三乙基氢氧化铵、氢氧化四乙醇铵、苯基三甲基氢氧化铵、苯甲基三甲基氢氧化铵中的一种。

3.根据权利要求1所述的减缓铝腐蚀的显影液，其特征在于：所述表面活性剂为聚二甲基硅氧烷、聚乙二醇甲基醚聚合物、环氧乙烷/环氧丙烷共聚物、四甲基癸炔二醇、缩水甘油醚封端炔二醇乙氧基化物中的一种。

4.根据权利要求1-3任一所述的减缓铝腐蚀的显影液，其特征在于：所述缓蚀剂为占显影液总重2-10wt％的木糖醇。

5.根据权利要求1-3任一所述的减缓铝腐蚀的显影液，其特征在于：所述缓蚀剂为占显影液总重0.1-4wt％的硅酸乙酯。