[发明专利]射频返回路径的阻抗的控制

权利要求书

1.一种匹配盒，包括：

壳体；

位于所述壳体内的匹配电路；

位于所述壳体内的开关电路，所述开关电路包括：

多个开关；和

彼此间隔开的多个参数元件，其中所述多个参数元件中的每一个连接到所述多个开关中的对应一个，其中所述多个开关中的每一个被配置为连接到射频(RF)传输线的接地射频通道以修改具有该接地射频通道的返回路径的阻抗。

2.根据权利要求1所述的匹配盒，其中所述匹配电路包括多个电路元件，以将耦合到所述匹配电路的负载的阻抗与耦合到所述匹配电路的源的阻抗匹配。

3.根据权利要求1所述的匹配盒，其中所述开关中的一个连接到所述多个参数元件中的一个，并且所述多个开关中的另一个连接到所述多个参数元件中的另一个，其中所述多个参数元件中的每一个是金属带。

4.根据权利要求1所述的匹配盒，其中所述接地射频通道围绕所述射频传输线的射频棒。

5.根据权利要求1所述的匹配盒，其中所述返回路径包括所述壳体的一部分和将所述匹配电路耦合到射频发生器的射频电缆的射频护套。

6.根据权利要求1所述的匹配盒，其中所述多个参数元件中的每一个是电容器或电感器。

7.根据权利要求1所述的匹配盒，其中所述匹配电路耦合到所述射频传输线的射频棒。

8.一种用于控制射频返回路径的阻抗的系统，包括：

壳体；

位于所述壳体内的匹配电路；

位于所述壳体外部的开关电路，所述开关电路包括：

多个开关；和

彼此间隔开的多个参数元件，其中所述多个参数元件中的每一个连接到所述多个开关中的对应一个，其中所述多个开关中的每一个连接到射频(RF)传输线的接地射频通道以修改具有该接地射频通道的返回路径的阻抗。

9.根据权利要求8所述的用于控制射频返回路径的阻抗的系统，其中所述匹配电路包括多个电路元件，以将耦合到所述匹配电路的负载的阻抗与耦合到所述匹配电路的源的阻抗匹配。

10.根据权利要求8所述的用于控制射频返回路径的阻抗的系统，其中所述多个开关中的一个连接到所述多个参数元件中的一个，并且所述多个开关中的另一个连接到所述多个参数元件中的另一个，其中每个所述多个参数元件是金属带。

11.根据权利要求8所述的用于控制射频返回路径的阻抗的系统，其中所述接地射频通道围绕所述射频传输线的射频棒。

12.根据权利要求8所述的用于控制射频返回路径的阻抗的系统，其中所述返回路径包括所述壳体的一部分和将所述匹配电路耦合到射频发生器的射频电缆的射频护套。

13.根据权利要求8所述的用于控制射频返回路径的阻抗的系统，其中所述多个参数元件中的每一个是电容器或电感器。

14.根据权利要求8所述的用于控制射频返回路径的阻抗的系统，其中所述匹配电路耦合到所述射频传输线的射频棒。

15.一种用于控制射频返回路径的阻抗的系统，包括：

控制器；

耦合到所述控制器的开关电路，所述开关电路包括：

多个开关；和

彼此间隔开的多个参数元件，其中所述多个参数元件中的每一个连接到所述多个开关中的每一个，其中所述多个开关连接到射频(RF)传输线的接地射频通道，其中所述控制器是被配置为控制所述多个开关以修改具有该接地射频通道的返回路径的阻抗。