[发明专利]具有离子催化剂的衬底的无电金属镀覆的水平方法有效

专利信息
申请号: 201710081929.5 申请日: 2017-02-15
公开(公告)号: CN107130230B 公开(公告)日: 2019-08-27
发明(设计)人: 刘锋;M·瑞兹尼克 申请(专利权)人: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
主分类号: C23C18/20 分类号: C23C18/20;C23C18/24;C23C18/30
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陈哲锋;胡嘉倩
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 具有 离子 催化剂 衬底 金属 镀覆 水平 方法
【权利要求书】:

1.一种无电镀覆衬底的水平方法,其包含:

a)清洁和调节所述衬底;

b)微蚀刻所述衬底;

c)提供水性酸性预浸组合物,所述水性酸性组合物由羟基苯甲酸、二羟基苯甲酸、三羟基苯甲酸或它们的钠盐和任选地一种或多种缓冲剂组成;

d)将所述水性酸性预浸组合物施用于所述衬底;

e)将离子催化剂施用于所述衬底;

f)将还原剂施用于具有所述离子催化剂的所述衬底;和

g)将无电金属镀覆浴施用于具有所述催化剂的所述衬底以便金属镀覆所述衬底。

2.根据权利要求1所述的水平方法,其中所述一种或多种缓冲剂选自碱金属氢氧化物。

3.根据权利要求1所述的水平方法,其中所述一种或多种缓冲剂选自硝酸。

4.根据权利要求1所述的水平方法,其中所述离子催化剂包含一种或多种选自钯、铂和金的金属离子。

5.根据权利要求1所述的水平方法,其中所述离子催化剂的络合剂是杂环氮化合物。

6.根据权利要求5所述的水平方法,其中所述杂环氮化合物选自嘧啶衍生物、吡嗪和吡啶衍生物。

7.根据权利要求6所述的水平方法,其中所述吡嗪衍生物选自2,6-二甲基吡嗪、2,3-二甲基吡嗪、2,5-二甲基吡嗪、2,3,5-三甲基吡嗪、2-乙酰基吡嗪、氨基吡嗪、乙基吡嗪、甲氧基吡嗪、3,4-二甲基吡嗪和2-(2'-羟乙基)吡嗪。

8.根据权利要求6所述的水平方法,其中所述嘧啶衍生物选自尿嘧啶、巴比妥酸、乳清酸、胸腺嘧啶、2-氨基嘧啶、6-羟基-2,4-二甲基嘧啶、6-甲基尿嘧啶、2-羟基嘧啶、4,6-二氯嘧啶、2,4-二甲氧基嘧啶、2-氨基-4,6-二甲基嘧啶、2-羟基-4,6-二甲基嘧啶和6-甲基异胞嘧啶。

9.根据权利要求6所述的水平方法,其中所述吡啶衍生物选自4-二甲氨基吡啶、4-氨基吡啶、2-氨基吡啶、4-(甲氨基)吡啶、2-(甲氨基)吡啶、2-氨基-4,6-二甲基吡啶、2-二甲氨基-4,6-二甲基吡啶、4-二乙氨基吡啶、2-(吡啶-3-基)-乙酸、2-氨基-3-(吡啶-3-基)-丙酸、2-氨基-3-(吡啶-2-基)-丙酸、3-(吡啶-3-基)-丙烯酸、3-(4-甲基吡啶-2-基)丙烯酸和3-(吡啶-3-基)-丙烯酰胺。

10.根据权利要求1所述的水平方法,其中所述水性酸性预浸组合物的pH值小于7。

11.根据权利要求1所述的水平方法,其中所述衬底包含多个通孔、通道或其组合。

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