[发明专利]一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法

权利要求书

1.一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)合成具有五元环咪唑啉基本结构的咪唑啉中间体，将两种有机羧酸和带水剂投入到反应器中，开启搅拌装置进行搅拌2～3h；

2)合成含有亲水基的咪唑啉衍生物，向步骤1)中搅拌均匀的混合物中加入有机多胺，并使用加热装置给体系升温，使物料在180～200℃进行酰胺化反应7～8h，同时将水直接引至分水器中，使反应速率加快，并将分水器上层的带水剂回流到反应体系中，进行循环使用，继续升温至260～280℃，进行环化反应6～7h；

3)分离出咪唑啉缓蚀剂，在步骤2)中的反应结束后，将分水器中的水分出，并将上层的带水剂导入带水剂的减压蒸馏装置，导出的带水剂经减压蒸馏即得纯净的带水剂，并将纯净的带水剂封装保存，用于其他反应，蒸馏带水剂的同时打开真空系统，将产物中残留的带水剂从产物中抽离，反应瓶中即得混合的咪唑啉缓蚀剂；

4)PH调节，将分离出的咪唑啉缓蚀剂的pH值调节到6.0～9.0。

2.根据权利要求1所述的一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，咪唑啉缓蚀剂的凝固点为-10℃，腐蚀速率<0.040mm/a，缓蚀率>80％。

3.根据权利要求2所述的一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法，其特征在于，腐蚀速率按照Q/SYTZ 0178-2007进行测定，缓蚀率和点蚀率按照Q/SHCG40-2012进行测定。