[发明专利]压印装置以及物品制造方法

说明书

本发明提供压印装置以及物品制造方法。所述压印装置通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下用光照射压印材料使压印材料固化，来形成图案。所述压印装置包括被构造为用光照射压印材料的照射器、以及被构造为控制所述照射器的控制器。令I_c为照射压印材料的光的照度，t_c为用光照射压印材料的时间，k为系数，并且PD为经受光的照射的压印材料的目标光聚合度，控制器根据下式来确定照射时间：

技术领域

本发明涉及一种压印装置以及物品制造方法。

背景技术

如下的压印技术正受到关注：将压印材料放置在基板上，并且通过在使模具与压印材料接触的同时用光照射来使压印材料固化，从而将模具的图案转印到压印材料上。压印材料的固化程度取决于照射压印材料的光的量。日本特开2012-099197号公报描述了一种双面压印装置，其中，使布置在下侧压模(stamper)中的UV(ultra violet，紫外线)光源的照射时间短于布置在上侧压模中的UV光源的照射时间。在该双面压印装置中，由于脱放(release)所需的力取决于照射时间，所以能够在从下侧压模脱放转印材料之后，从上侧压模脱放转印材料。“光敏树脂的基础和实际使用”(“Basis and Practical Use ofPhotosensitive Resin”，CMC，supervised by Kiyoshi Akamatsu)的第242-243页描述了自由基聚合性抗蚀剂的化学反应速度与照度(illuminance)的平方根成比例。

在传统的压印装置中，预先优化用光照射压印材料的时间，并且通过根据照射时间控制对压印材料的光照射来使压印材料固化。因此，如果照度由于例如光源的劣化而降低，则压印材料的固化可能变得不充分。在传统的压印装置中，自由基聚合性压印材料的光聚合度(固化的程度)不被自动地调整为目标值。

发明内容

本发明提供了一种有利于在使用压印材料的压印装置中优选地控制自由基聚合性压印材料的光聚合度的技术。

本发明的第一方面提供了一种压印装置，其用于通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下用光照射压印材料使压印材料固化，来形成图案，所述压印装置包括：照射器，其被构造为用光照射压印材料；以及控制器，其被构造为控制所述照射器，其中，令I_c为照射压印材料的光的照度，t_c为用光照射压印材料的时间，k为系数，并且PD为经受光的照射的压印材料的目标光聚合度，所述控制器根据下式来确定照射时间：

本发明的第二方面提供了一种物品制造方法，所述物品制造方法包括：通过使用限定为本发明的第一方面的压印装置来在基板上形成图案；以及在形成图案的步骤中，对形成有图案的基板进行处理。

本发明的第三方面提供了一种压印装置，其用于通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下、用光照射压印材料使压印材料固化，来形成图案，所述压印装置包括：照射器，其被构造为用光照射压印材料；以及控制器，其被构造为控制所述照射器，其中，所述照射器包括调整器，所述调整器被构造为调整照射压印材料的光的照度，并且令I_c为照射压印材料的光的照度，t_c为用光照射压印材料的时间，k为系数，并且PD为经受光的照射的压印材料的目标光聚合度，所述控制器使所述调整器根据下式来调整照射压印材料的光的照度：

本发明的第四方面提供了一种物品制造方法，所述物品制造方法包括：通过使用限定为本发明的第三方面的压印装置来在基板上形成图案；以及在形成图案的步骤中，对形成有图案的基板进行处理。

通过以下参照附图对示例性实施例的描述，本发明的其他特征将变得清楚。

附图说明

图1是示出本发明的实施例的压印装置的布置的图；

图2是示出本发明的实施例的压印装置的布置的图；

图3是示出本发明的第一实施例的压印装置的操作的图；