[发明专利]一种封存孤立超细小簇的设备及封存方法

权利要求书

1.一种封存孤立超细小簇的设备，其特征在于，该设备包括： 采用隔离阀分割的第一处理室与第二处理室，所述第一处理室用于沉积超细小簇，所述第二处理室通入CO₂气体，所述第二处理室上设置一传送杆，所述传送杆通入第二处理室并可开通隔离阀通入至第一处理室内；

所述第一处理室上安装有真空管道用于连接真空泵，所述第一处理室内设置超粒子流枪对准所述第一处理室的样品台；

所述第二处理室上安装有真空管道用于连接真空泵，并设置CO₂罐体通过阀门控制连接至第二处理室；

所述第二处理室内设置冷却台，所述冷却台为中空结构，内通入液氮。

2.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备，其特征在于，第一处理室的样品台为中空结构，内通入液氮。

3.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备，其特征在于，所述传送杆的端部为样品托架。

4.一种封存孤立超细小簇的方法，其特征在于，包括如下的步骤：

设置隔离阀分割的第一处理室与第二处理室；

对两个处理室抽真空；

对第一处理室与第二处理室采用液氮冷却；

在第二处理室内充入CO₂气体，在液氮的冷却下制备成薄干冰；

传输薄干冰至第一处理室内，沉积超细小颗粒后撤回第二处理室再行冰封。

5.按照权利要求4所述的封存孤立超细小簇的方法，其特征在于，两个处理室的背景真空度为10^-4Pa。

6.按照权利要求4所述的封存孤立超细小簇的方法，其特征在于，冰封后将隔离阀关闭后，打开第二处理室取出。