[发明专利]用于利用两个MEMS感测元件测量差压和绝对压力的系统、设备和方法

权利要求书

1.一种用于测量流体系统中的流动流体的绝对压力和差压的方法，包括步骤：

配置所述流体系统以包括第一压力嘴和第二压力嘴，所述第一压力嘴和所述第二压力嘴彼此间隔开使得所述第二压力嘴沿流方向位于所述第一压力嘴的下游；

在包含未压缩流体的高侧腔内提供绝对压力感测元件，并将所述绝对压力感测元件流耦合至所述第一压力嘴，由此测量表示所述第一压力嘴处的所述流动流体的绝对压力；

提供下侧腔，所述下侧腔流耦合至第二压力嘴并且包含第二未压缩流体；以及

在所述高侧腔内提供差压感测元件，其中所述差压感测元件附接至耦合在所述高侧腔与所述下侧腔之间的隔膜，以测量所述第一压力嘴与所述第二压力嘴之间的所述流动流体的差压。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括在所述第二压力嘴与所述差压感测元件之间提供流体通道的步骤，所述流体通道包含未压缩介质，所述流体通道被配置和布置为将表示所述第二压力嘴处的所述流动流体的第二压力传输至所述差压感测元件。

3.根据权利要求2所述的方法，进一步包括将表示所述第一压力嘴处的所述流动流体的第一压力传输至所述差压感测元件的步骤。

4.根据权利要求1所述的方法，进一步包括步骤：

在所述流体系统中定位限制压力设备，所述限制压力设备被设置在所述第一压力嘴与所述第二压力嘴之间使得所述第一压力嘴处于比所述第二压力嘴高的压力下。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述限制压力设备为限制文丘里管、孔口或节流板之一。

6.根据权利要求1所述的方法，进一步包括步骤：

提供至少一个数字处理机构；

其中所述至少一个数字处理机构中的每个被配置和布置为控制所述绝对压力感测元件的操作并且控制所述差压感测元件的操作；以及

其中所述至少一个数字处理机构中的每个被配置和布置为提供表示被测量的绝对压力的输出并且提供表示被测量的差压的输出。

7.根据权利要求6所述的方法，其中：

所述提供至少一个数字处理机构包括提供第一数字处理机构和第二数字处理机构；

所述第一数字处理机构被配置和布置为控制所述绝对压力感测元件的操作并且提供表示被测量的绝对压力的输出；以及

所述第二数字处理机构被配置和布置为控制所述差压感测元件的操作并且提供表示被测量的差压的输出。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述流动流体为气体，并且其中所述方法进一步包括步骤：

提供温度感测设备并且配置所述流体系统使得所述温度感测设备测量流动气体的温度并且提供所测量的温度的输出，其中所述绝对压力感测元件提供所测量的绝对压力的输出，并且所述差压感测元件提供所测量的差压的输出；以及

使用所测量的温度、绝对压力和差压的输出以确定所述流体系统中的所述流动气体的质量流率。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述绝对压力感测元件和所述差压感测元件中的每个包括MEM感测元件。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述流动流体为排气再循环系统的排放气体或摄入系统的摄入空气之一。