[发明专利]一种金属箔材高通量样品制备与表征的装置及方法有效
申请号: | 201710069647.3 | 申请日: | 2017-02-08 |
公开(公告)号: | CN106917116B | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 金莹;闫松涛;文磊;赖召贵;时鹏;孙冬柏 | 申请(专利权)人: | 北京科技大学 |
主分类号: | C25D1/04 | 分类号: | C25D1/04 |
代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人: | 皋吉甫 |
地址: | 100083*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金属 箔材高 通量 样品 制备 表征 装置 方法 | ||
1.一种金属箔材高通量样品制备与表征的装置,其特征在于,所述装置用于实现金属箔材高通量样品的自动化流水线式制备和性能表征,以高效完成金属箔材生产工艺筛选与优化工作;
所述装置包括:
金属箔材高通量样品制备系统,以电化学/化学方法从液相中连续制备条带状的金属箔材高通量样品,所述金属箔材高通量样品的制备过程中的工艺参数能够自动化连续调控,对不同工艺参数条件下生产的条带状金属铜箔高通量样品进行逐一定位与编码打印贴标,以便记录每段样品的实验日期和所用工艺参数,与后续金属箔材高通量样品的表征与筛选建立一一对映关系;
金属箔材高通量样品表征系统,测试与表征设备以模块式集成在金属箔材高通量样品表征系统的流水线上,能够对所述金属箔材高通量样品进行流水线式连续测试表征;
金属箔材高通量样品制备与表征综合控制系统,包括金属箔材高通量样品制备综合控制系统和金属箔材高通量样品表征综合控制系统;所述金属箔材高通量样品制备综合控制系统能够根据需要对所述金属箔材高通量样品制备系统中的所述工艺参数进行自动化连续调控;所述金属箔材高通量样品表征综合控制系统能够根据需要对所述高通量样品表征系统中的测试与表征设备发送测试指令,并保证在不同工艺参数下制备获得的金属箔材高通量样品准确通过测试与表征设备并作合适时间的停留,保证对金属箔材高通量样品性能表征的准确进行;
连接系统,用于实现所述装置中各系统间的数据、指令的通讯连接以及必要的物质传送。
2.根据权利要求1所述一种金属箔材高通量样品制备与表征的装置,其特征在于,所述金属箔材高通量样品制备系统包括金属箔材样品制备子系统、工艺参数调控子系统和样品传输、标记与收卷子系统。
3.根据权利要求2所述一种金属箔材高通量样品制备与表征的装置,其特征在于,所述金属箔材样品制备子系统包括电沉积用阴极辊、阴极辊抛磨机、弧形阳极板、电镀液池、金属铜箔样品水洗液池、金属铜箔样品冷风样品干燥器。
4.根据权利要求2所述一种金属箔材高通量样品制备与表征的装置,其特征在于,所述工艺参数调控子系统包括镀液组分/浓度监控与综合调控组件、电镀液池内液体流态组织组件、镀液温度调控组件、电流调控组件、条带状金属铜箔样品传送速率控制组件、阴阳极间距调控组件;
所述高通量样品制备与表征综合控制系统通过调控所述工艺参数调控子系统对所述金属箔材高通量样品制备系统中的所述工艺参数进行自动化连续调控。
5.根据权利要求2所述一种金属箔材高通量样品制备与表征的装置,其特征在于,所述样品传输、标记与收卷子系统包括条带状样品的传输组件、定位标记设备、及收卷储存组件。
6.根据权利要求1所述一种金属箔材高通量样品制备与表征的装置,其特征在于,所述金属箔材高通量样品表征系统包括金属箔材高通量样品性质和性能表征子系统、样品传输与收卷子系统;
所述金属箔材高通量样品性质和性能表征子系统为以模块式集成在金属箔材高通量样品表征系统流水线上的测试与表征设备,所述流水线的长度以及所述流水线中包含的测试与表征设备具有扩展性;所述测试与表征设备用于金属箔材的基础表征和物性测试,以及其在特定介质环境中的化学/电化学性能检测中的任意一种或任意两种及以上的组合;
所述样品传输与收卷子系统与所述金属箔材高通量样品制备与表征综合控制系统连接,在所述金属箔材高通量样品制备与表征综合控制系统的控制下,所述样品传输与收卷子系统能够控制金属箔材高通量样品的行进与静止,保证对金属箔材高通量样品性能表征的准确进行。
7.根据权利要求1-6任一项所述一种金属箔材高通量样品制备与表征的装置,其特征在于,所述装置还包括:
制备与表征数据存储系统,包括制备数据存储系统和表征数据存储系统;所述制备数据存储系统用于存储所述金属箔材高通量样品中每一段样品制备过程中的工艺参数,所述表征数据存储系统用于存储所述金属箔材高通量样品中每一段样品的表征数据;同一段样品的制备数据与表征数据相互对应,便于智能化数据应用系统挖掘数据规律、指导工艺优化。
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