[发明专利]微机电系统湿度感测器在审
| 申请号： | 201710069088.6 | 申请日： | 2017-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN107121460A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 陈东村;朱家骅;黄睿政;郑钧文;谢正祥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 系统 湿度 感测器 | ||
【权利要求书】：
1.一种微机电系统湿度感测器，其特征在于，包含：
一第一基板；
一第二基板，与该第一基板大致平行；以及
一感测结构，介于该第一基板与该第二基板之间，并接合该第一基板的一部分及该第二基板的一部分，
其中该第二基板包含一导电层面对该感测结构，且介于该第一基板与该感测结构之间的一第一空间与外部连通或隔离，且介于该导电层与该感测结构之间的一第二空间与一气氛连通，且该感测结构、该第二空间及该导电层构成一电容器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710069088.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种适用于变电站X摄像检测的设备
- 下一篇：集成电容式湿度传感器
