[发明专利]孔链电阻有效
| 申请号： | 201710068640.X | 申请日： | 2017-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN106803501B | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 朱冬慧;苗彬彬;苏庆 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电阻 | ||
【权利要求书】：
1.一种孔链电阻，其特征在于：在所述孔链电阻的外圈增加深槽环，该深槽环与孔链电阻形成闭合环，通过深槽隔离来实现孔链电阻的横向隔离，使测试结构与外界P型外延层完全隔离，所述深槽环形成叉指状。
2.如权利要求1所述的孔链电阻，其特征在于：所述孔链电阻整体置于一SOI衬底上方的P型外延层内，排列成蛇形结构。
3.如权利要求1所述的孔链电阻，其特征在于：金属铝层通过孔连接到P型外延层，通过P型外延层再连接孔，再回到金属铝层。
4.如权利要求3所述的孔链电阻，其特征在于：所述金属铝层与深槽距离采取最小设计规则3μm。
5.如权利要求3所述的孔链电阻，其特征在于：所述与金属铝层连接的P型外延层，P型注入宽度采取最小设计规则3μm。
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