[发明专利]快门装置及其控制方法、光刻机及其曝光剂量控制方法

权利要求书

1.一种快门装置，其特征在于，包括：挡光单元和音圈电机，其中，所述音圈电机包括永磁模块、驱动导轨模块和线圈结构，所述驱动导轨模块和所述线圈结构设置在所述永磁模块中间，所述线圈结构设置在所述驱动导轨模块上，所述永磁模块在所述驱动导轨模块内部产生磁场，所述线圈结构通电后产生与所述驱动导轨模块磁场方向相反或相同的磁场，使其沿所述驱动导轨模块往复运动，所述挡光单元包括两组快门叶片，所述快门叶片与所述线圈结构连接。

2.如权利要求1所述的快门装置，其特征在于，所述永磁模块包括对称布置的两组永磁铁组，每组永磁铁组包括两块永磁铁，所述驱动导轨模块设于所述两块永磁铁之间，所述线圈结构包括两个线圈，一个线圈对应一组永磁铁组。

3.如权利要求1或2所述的快门装置，其特征在于，所述驱动导轨模块采用铁芯。

4.如权利要求1或2所述的快门装置，其特征在于，所述驱动导轨模块为弧形或者半圆形。

5.如权利要求1所述的快门装置，其特征在于，所述两组快门叶片剪刀式铰接，且两快门叶片之间存在重叠。

6.如权利要求1所述的快门装置，其特征在于，所述快门叶片采用铝制叶片。

7.如权利要求1所述的快门装置，其特征在于，所述快门叶片表面经过黑色阳极氧化工艺处理。

8.如权利要求1所述的快门装置，其特征在于，所述快门装置还包括罩设在音圈电机和挡光单元外部的罩壳，所述罩壳上与挡光单元对应位置处开设有通光孔。

9.如权利要求8所述的快门装置，其特征在于，所述罩壳上设有冷却气入口，用于通入压缩空气对所述音圈电机和挡光单元冷却。

10.如权利要求8所述的快门装置，其特征在于，所述快门叶片的直径大于所述通光孔的直径。

11.如权利要求1所述的快门装置，其特征在于，所述快门叶片与所述线圈结构之间还设置有轴承转轴组件。

12.如权利要求11所述的快门装置，其特征在于，所述轴承转轴组件包括：轴承座、安装在所述轴承座上的转轴、设在所述转轴上的轴承以及与所述轴承配合的轴套，所述转轴与所述快门叶片连接。

13.如权利要求12所述的快门装置，其特征在于，所述转轴与所述轴承、所述轴承与所述轴套之间过渡配合。

14.如权利要求12所述的快门装置，其特征在于，所述轴承采用双深沟球轴承。

15.如权利要求11所述的快门装置，其特征在于，所述快门装置还包括位置探测器，所述位置探测器安装在所述轴承转轴组件上，且位置与所述快门叶片对应。

16.如权利要求12所述的快门装置，其特征在于，所述快门叶片的质心相对所述快门叶片上的转轴中心向下偏移，且偏向于快门叶片圆弧侧。

17.一种应用于权利要求1至16任一所述的快门装置的控制方法，其特征在于，包括：

根据光斑大小确定音圈电机的输出力；

根据音圈电机的输出力确定线圈结构控制板卡的输出电流，所述线圈结构控制板卡输出正方向电流控制快门叶片加速，所述线圈结构控制板卡输出反方向电流控制快门叶片减速，通过打开加速、打开减速、关闭加速和关闭减速四个速率控制阶段实现所述快门叶片的开闭，同时设定快门叶片处于打开加速、打开减速、关闭加速和关闭减速状态时的通电时间。