[发明专利]用于微波等离子体环境的微球驱动装置

权利要求书

1.用于微波等离子体环境的微球驱动装置，其特征在于：包括拨杆(1)、微球盘(2)、真空驱动电机(3)、铜座(4)和微波屏蔽腔板(5)，所述拨杆(1)和微球盘(2)均为石英玻璃材质，拨杆(1)由直杆(11)和圆环(12)构成，其中圆环(12)连接于直杆(11)的一端，圆环(12)所在平面与直杆(11)相互垂直，圆环(12)内放置所述微球盘(2)，直杆(11)的另一端连接所述真空驱动电机(3)，真空驱动电机(3)通过固定支架(31)安装固定；所述铜座(4)的顶部设置圆槽(41)，圆槽(41)上方为所述拨杆(1)的圆环(12)，放置于圆环(12)内的微球盘(2)的底部位于圆槽(41)内，铜座(4)的下方为所述微波屏蔽腔板(5)，微波屏蔽腔板(5)中部设置安装通孔(51)，微波屏蔽腔板(5)上设置至少一个通气孔(52)，通气孔(52)上下贯穿微波屏蔽腔板(5)，微波屏蔽腔板(5)上还设置用于安装固定的紧固螺纹孔(53)，拨杆(1)的直杆(11)穿过微波屏蔽腔板(5)的通气孔(52)，所述铜座(4)和真空驱动电机(3)分别位于所述微波屏蔽腔板(5)的上下侧。

2.如权利要求1所述的用于微波等离子体环境的微球驱动装置，其特征在于：所述拨杆(1)的圆环(12)内径至少为微球盘(2)盘口直径的1.2倍。

3.如权利要求1所述的用于微波等离子体环境的微球驱动装置，其特征在于：所述微球盘(2)内表面呈抛物面状或球面状。

4.如权利要求1所述的用于微波等离子体环境的微球驱动装置，其特征在于：所述微波屏蔽腔板(5)的通气孔(52)的直径大于直杆(11)的直径，且通气孔(52)的直径小于6mm。

5.如权利要求1或4所述的用于微波等离子体环境的微球驱动装置，其特征在于：所述微波屏蔽腔板(5)上设置两圈通气孔(52)，两圈通气孔(52)形成的两个圆形与安装通孔(51)均呈同心圆关系。

6.如权利要求1所述的用于微波等离子体环境的微球驱动装置，其特征在于：所述铜座(4)由圆柱台阶(42)和固定于圆柱台阶(42)上的圆柱筒(43)构成，圆柱台阶(42)和圆柱筒(43)的中心线互相重合，圆柱台阶(42)上设置有圆角(44)，圆柱筒(43)上设置有圆角(44)，圆柱筒(43)的顶部设置所述圆槽(41)。

7.如权利要求1所述的用于微波等离子体环境的微球驱动装置，其特征在于：所述真空驱动电机(3)的输出轴和拨杆(1)的直杆(11)之间通过连接块(6)相连，真空驱动电机(3)的输出轴和拨杆(1)的直杆(11)分别通过螺钉连接于连接块(6)的两端。