[发明专利]厚度测量装置及厚度测量方法

权利要求书

1.一种厚度测量装置，其中，具有：

第一透光构件，具有第一参照面；

第二透光构件，与所述第一透光构件相向设置，具有第二参照面；

第一投光部，经由所述第一参照面向设置在所述第一透光构件和所述第二透光构件之间的试样照射来自光源的光；

第一受光部，接收来自所述第一参照面的反射光，并且经由所述第一参照面接收来自所述试样的反射光；

第二投光部，经由所述第二参照面向所述试样照射来自光源的光；

第二受光部，接收来自所述第二参照面的反射光，并且经由所述第二参照面接收来自所述试样的反射光；

分光部，对由所述第一受光部接收的反射光和由所述第二受光部接收的反射光进行分光，

所述第一投光部包括使来自光源的光聚集在所述试样的表面即与所述第一参照面相向的表面附近的透镜，

所述第二投光部包括使来自光源的光聚集在所述试样的表面即与所述第二参照面相向的表面附近的透镜。

2.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，

所述分光部包括一个分光器，

所述厚度测量装置进一步具有光学系统，所述光学系统用于将由所述第一受光部接收的光和由所述第二受光部接收的光向所述分光器引导。

3.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，

从所述第一投光部经由所述第一参照面向所述试样照射的光的光束的轴、从所述第二投光部经由所述第二参照面向所述试样照射的光的光束的轴、所述第一受光部所接收的来自所述第一参照面的反射光的光束的轴和来自所述试样的反射光的光束的轴、所述第二受光部所接收的来自所述第二参照面的反射光的光束的轴和来自所述试样的反射光的光束的轴彼此顺沿。

4.根据权利要求2所述的厚度测量装置，其中，

从所述第一投光部经由所述第一参照面向所述试样照射的光的光束的轴、从所述第二投光部经由所述第二参照面向所述试样照射的光的光束的轴、所述第一受光部所接收的来自所述第一参照面的反射光的光束的轴和来自所述试样的反射光的光束的轴、所述第二受光部所接收的来自所述第二参照面的反射光的光束的轴和来自所述试样的反射光的光束的轴彼此顺沿。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的厚度测量装置，其中，

所述厚度测量装置进一步具有运算部，所述运算部基于所述分光部的分光结果，计算所述第一参照面和所述试样之间的距离、即第一距离以及所述第二参照面和所述试样之间的距离、即第二距离，

所述运算部通过从所述第一参照面和所述第二参照面之间的距离减去所述第一距离和所述第二距离来计算所述试样的厚度。