[发明专利]x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件在审
申请号: | 201710058109.4 | 申请日: | 2014-03-12 |
公开(公告)号: | CN106887373A | 公开(公告)日: | 2017-06-23 |
发明(设计)人: | R·哈德兰德 | 申请(专利权)人: | 尼康计量公众有限公司 |
主分类号: | H01J35/02 | 分类号: | H01J35/02;H01J35/04;H01J35/10;H02M1/32;H02M7/10;H05G1/12 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 陈松涛,王英 |
地址: | 比利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射线 电压 发生器 电子束 旋转 组件 以及 真空 密封件 | ||
1.一种用于旋转轴的旋转真空密封件,所述密封件包括:
孔,所述孔用于容纳所述轴并且在高压强端部和低压强端部中的每一个端部处具有端子孔口;
腔室,所述腔室在介于所述高压强端部与所述低压强端部之间的位置处围绕所述孔并且周向地邻接所述孔;以及
流动路径,所述流动路径从所述腔室延伸至适合于连接至真空泵的端口,
其中,所述孔和所述轴的尺寸被设定为:使得在所述腔室中维持的1毫巴的压强以及在所述低压强端部处维持的10-5毫巴的压强导致所述腔室与所述低压强端部之间的氮的质量流率小于10-3毫巴l/s。
2.根据权利要求1所述的旋转真空密封件,其中,所述孔在所述高压强端部与所述腔室以及所述低压强端部与所述腔室中的每一个之间实质上是圆柱形的。
3.根据权利要求1或2所述的旋转真空密封件,其中,所述腔室实质上是圆柱形的。
4.根据权利要求1、2或3所述的旋转真空密封件,其中,所述腔室的跨所述孔的纵轴的最小内部尺寸是跨所述孔的纵轴的最小内部尺寸的至少120%。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的旋转真空密封件,其中,所述密封件包括用于可旋转地支撑所述孔中的所述轴的旋转轴承。
6.根据权利要求5所述的旋转真空密封件,其中,所述轴承被提供为在所述孔的高压强端部和低压强端部中的每一个端部处的一对旋转轴承。
7.根据权利要求6所述的旋转真空密封件,其中,所述旋转轴承为滚珠轴承。
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的旋转真空密封件,还包括被容纳在所述孔中的所述轴。
9.根据权利要求8所述的旋转真空密封件,其中,所述轴实质上是圆柱形的。
10.根据权利要求8或9所述的旋转真空密封件,其中,所述孔和所述轴的尺寸被设定为:使得在所述高压强端部处维持的1巴的压强以及在所述腔室中维持的1毫巴的压强导致在标准温度下所述高压强端部与所述腔室之间的氮的质量流率小于1毫巴l/s。
11.一种用于x射线源的靶组件,包括:
真空壳体;
x射线发射靶;以及
根据权利要求8、9或10所述的旋转真空密封件,所述旋转真空密封件被提供至所述壳体的壁,
其中,所述x射线发射靶被安装在所述轴上。
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