[发明专利]一种间歇式的钽阳极块正压烧结装置及方法有效
申请号: | 201710053402.1 | 申请日: | 2017-01-22 |
公开(公告)号: | CN106643126B | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 王荣生;刘文国;王帆;郑浩宇 | 申请(专利权)人: | 江门富祥电子材料有限公司 |
主分类号: | F27B5/05 | 分类号: | F27B5/05;F27B5/16;F27B5/06;F27B5/18;F27D7/06;F27D9/00;H01G13/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 赵蕊红 |
地址: | 529152 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 间歇 阳极 正压 烧结 装置 方法 | ||
1.一种钽阳极块正压烧结装置,所述的装置包括烧结炉体、真空系统、温控系统、冷却水循环系统,其特征在于,还含有氩气保护系统;所述的氩气保护系统含有位于烧结炉体上的氩气进气口和氩气排气口;所述的冷却水循环系统包含内水冷保护系统和外水冷保护系统;所述的外水冷保护系统位于烧结炉体外,内水冷保护系统位于烧结炉体内;所述烧结炉体上方为烧结炉盖,烧结炉盖下方为真空炉内室,真空炉内室下方为机架;所述烧结炉盖通过夹紧装置固定在真空炉内室上;所述烧结炉内室从外到里依次含有内水冷保护系统、内壳钽隔热屏、钽加热框和吊篮;所述的机架上设置有流量计;所述的氩气保护系统还含有负压缓冲装置,所述的负压缓冲装置与氩气排气口连通,所述的负压缓冲装置含有密闭缓冲空瓶和与密闭缓冲瓶相连的自来水敞口瓶,密闭缓冲空瓶容积≥自来水敞口瓶容积。
2.根据权利要求1所述的烧结装置,其特征在于,所述的真空系统含有位于烧结炉体的真空炉内室下方的真空抽空管,以及位于真空抽空管上的真空规管、气压双压表。
3.根据权利要求2所述的烧结装置,其特征在于,所述的氩气进气口位于真空抽空管上。
4.根据权利要求1所述的烧结装置,其特征在于,所述的氩气排气口位于烧结炉体进出料口法兰下方50mm处。
5.根据权利要求2所述的烧结装置,其特征在于,所述温控系统含有热电偶接头、热电偶。
6.根据权利要求5所述的烧结装置,其特征在于,所述的热电偶接头位于真空抽空管上方;所述的热电偶的探头穿过钽加热框侧面,置于距离环形钽加热框内壁约1cm处。
7.根据权利要求1所述的烧结装置,其特征在于还含有配电系统和控制柜。
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