[发明专利]T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器

权利要求书

1.一种T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器，其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO₂层(21)，在SiO₂层(21)上设有共面波导传输线、关于共面波导传输线的信号线(2)对称的缝隙结构(4)和缝隙结构(5)、T形结以及直接加热式微波功率传感器1和直接加热式微波功率传感器2，所述的共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成，共面波导传输线的信号线(2)上侧的缝隙结构(4)通过直接加热式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(10)连接直接加热式微波功率传感器1，下侧的缝隙结构(5)通过T形结的第一共面波导传输线的信号线(14)连接T形结的一个输入端，另一个输入端通过T形结的第二共面波导传输线的信号线(15)连接参考信号输入端口，T形结的输出端口通过T形结的第三共面波导传输线的信号线(16)连接直接加热式微波功率传感器2。

2.根据权利要求1所述的T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器，其特征是采用T形结进行功率和成，所述的T形结包括第一空气桥(11)、第二空气桥(12)、第三空气桥(13)、第一共面波导传输线的信号线(14)、第二共面波导传输线的信号线(15)、第三共面波导传输线的信号线(16)，为三端口器件，可用于功率合成，无需隔离电阻，其中第一空气桥(11)、第二空气桥(12)、第三空气桥(13)用于共面波导传输线的地线(3)之间的互连，同时为了方便这三个空气桥的释放，在其上制作了一组小孔阵列。

3.根据权利要求1所述的T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器，其特征是采用直接加热式微波功率传感器进行功率检测，所述的直接加热式微波功率传感器1包括半导体热偶臂(6)、终端电阻(7)、直流输出块(8)、隔绝直流电容(9)、共面波导传输线的信号线(10)；所述的直接加热式微波功率传感器2包括半导体热偶臂(17)终端电阻(18)、直流输出块(19)、隔绝直流电容(20)。