[发明专利]硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测器

权利要求书

1.一种硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测器，其特征在于，该信号检测器制作在高阻Si衬底(7)上，是由共面波导传输线(4)、一号缝隙耦合结构(5-1)、二号缝隙耦合结构(5-2)、三号缝隙耦合结构(5-3)、四号缝隙耦合结构(5-4)、移相器(6)、一号单刀双掷开关(22)、二号单刀双掷开关(23)、一个T型结功分器、三个T型结功合器以及六个直接式热电式功率传感器所构成，具体结构的连接关系如下：第一端口(1-1)是信号输入端，一号缝隙耦合结构(5-1)和二号缝隙耦合结构(5-2)位于共面波导传输线(4)上侧地线，三号缝隙耦合结构(5-3)和四号缝隙耦合结构(5-4)则位于共面波导传输线(4)下侧地线，这两对缝隙关于中心信号线对称，它们之间由一个移相器(6)隔开，对于频率检测模块(1)，一号缝隙耦合结构(5-1)连接到第二端口(1-2)，第二端口(1-2)与一号单刀双掷开关(22)的输入端相连，一号单刀双掷开关(22)的输出端分别连接到一号T型结功合器和一号直接式热电式功率传感器，二号缝隙耦合结构(5-2)连接到第三端口(1-3)，第三端口(1-3)与二号单刀双掷开关(23)的输入端相连，二号单刀双掷开关(23)的输出端分别连接到一号T型结功合器和二号直接式热电式功率传感器，而一号T型结功合器的输出端连接到三号直接式热电式功率传感器；对于相位检测模块(2)，三号缝隙耦合结构(5-3)与第四端口(1-4)相连，第四端口(1-4)连接到二号T型结功合器，四号缝隙耦合结构(5-4)与第五端口(1-5)相连，第五端口(1-5)连接到三号T型结功合器，参考信号通过四号T型结功分器的输入端输入，四号T型结功分器的输出端分别连接到二号T型结功合器和三号T型结功合器，然后，二号T型结功合器的输出端连接四号直接式热电式功率传感器，三号T型结功合器的输出端连接五号直接式热电式功率传感器；对于功率检测模块(3)，在第六端口(1-6)处连接着六号直接式热电式功率传感器。

2.如权利要求1所述的硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测器，其特征在于，单刀双掷开关(22)是由共面波导传输线(4)、锚区(25)、Si₃N₄介质层(19)、开关下拉电极板(26)和开关梁(24)组成的，共面波导传输线(4)连接到锚区(25)上，锚区(25)与两条不同支路上的开关梁(24)相连接，其中一条支路连接直接式热电式功率传感器，另一条支路连接T型结功合器的输入端，开关梁(24)下方存在着一层空气间隙，在这个空气间隙中安置有开关下拉电极板(26)，而在开关下拉电极板(26)上还覆盖着一层Si₃N₄介质层(19)。

3.如权利要求1所述的硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测器，其特征在于，T型结功分器和T型结功合器的结构是相同的，主要由共面波导传输线(3)、两个扇形缺陷结构(15)和三个空气桥(17)构成，扇形缺陷结构(15)是位于两个输入端口处的扇形形状的缺陷地结构，而空气桥(17)是位于中心信号线上方的梁结构。

4.如权利要求1所述的硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测器，其特征在于，采用直接式热电式功率传感器来实现热电转换，它主要由共面波导传输线(4)、金属臂(11)、P型半导体臂(12)以及一个隔直电容(17)构成，其中金属臂(11)和P型半导体臂(12)构成的两个热电偶是并联连接的，而共面波导传输线(4)直接与这两个热电偶的一端相连。