[发明专利]缝隙结构耦合在线式微波相位检测器在审
申请号: | 201710052704.7 | 申请日: | 2017-01-24 |
公开(公告)号: | CN106841798A | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 廖小平;严德洋 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01R25/00 | 分类号: | G01R25/00;G01R21/02;G01R15/00;G01R3/00 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人: | 杨晓玲 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 缝隙 结构 耦合 在线 式微 相位 检测器 | ||
1.一种缝隙结构耦合在线式微波相位检测器,其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO2层(20),在SiO2层(20)上设有共面波导传输线、两个关于共面波导传输线的信号线(2)对称的缝隙结构(4)和缝隙结构(5)、功合器以及直接加热式微波功率传感器1和直接加热式微波功率传感器2,共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成,共面波导传输线的信号线(2)上侧的缝隙结构(4)通过直接加热式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(15)连接直接加热式微波功率传感器1,共面波导传输线的信号线(2)下侧的缝隙结构(5)通过功合器的第一共面波导传输线的信号线(8)连接功合器的输入端,功合器的另一个输入端通过功合器的第二共面波导传输线的信号线(9)连接参考信号输入端口,功合器输出端口通过功合器的第三共面波导传输线的信号线(10)连接直接加热式微波功率传感器2。
2.根据权利要求1所述的缝隙结构耦合在线式微波相位检测器,其特征是采用直接加热式微波功率传感器检查微波功率,所述的直接加热式微波功率传感器1包括半导体热偶臂(11)、终端电阻(12)、直流输出块(13)、隔绝直流电容(14)和共面波导传输线的信号线(15);直接加热式微波功率传感器2包括半导体热偶臂(16)、终端电阻(17)、直流输出块(18)和隔绝直流电容(19)。
3.根据权利要求1所述的缝隙结构耦合在线式微波相位检测器,其特征是采用功合器进行功率合成,所述的功合器由不对称共面带线ACPS信号线(6)、隔离电阻(7)、第一共面波导传输线的信号线(8)、第二共面波导传输线的信号线(9)和第三共面波导传输线的信号线(10)构成。
4.根据权利要求1所述的缝隙结构耦合在线式微波相位检测器,其特征是采用缝隙结构(4)和缝隙结构(5)耦合微波信号,通过控制缝隙结构的几何尺寸可以调整所耦合的微波信号的大小。
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