[发明专利]基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器

权利要求书

1.一种基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器，其特征是：该信号检测器由悬臂梁耦合结构（15）、T型结、间接加热式微波功率传感器和开关构成；其中，悬臂梁耦合结构（15）上下、左右对称，由CPW中央信号线（3）、传输线地线（4）、悬臂梁（5）、悬臂梁锚区（6）构成，悬臂梁（5）置于CPW中央信号线（3）的上方，在悬臂梁（5）的下方有一层Si₃N₄介电层（7）覆盖CPW中央信号线（3）；待测信号由悬臂梁耦合结构（15）的第一端口（1-1）输入，第二端口（1-2）接第一间接加热式微波功率传感器；上方两个悬臂梁（5）耦合的信号由第三端口（1-3）和第四端口（1-4）输出，第三端口（1-3）与第一开关（16）的第七端口（2-1）相连，第四端口（1-4）与第二开关（17）的第十端口（3-1）相连，第一开关（16）的第八端口（2-2）与第二间接加热式微波功率传感器相连，第一开关（16）的第九端口（2-3）与第一T型结的第十三端口（4-1）相连，第二开关（17）的第十一端口（3-2）与第三间接加热式微波功率传感器相连，第二开关（17）的第十二端口（3-3）与第一T型结的第十四端口（4-2）相连，最后，第一T型结的第十五端口（4-3）接第四间接加热式微波功率传感器；下方两个悬臂梁（5）耦合的信号由第五端口（1-5）和第六端口（1-6）输出，第五端口（1-5）与第三T型结的第十九端口（6-1）相连，第六端口（1-6）与第四T型结的第二十二端口（7-1）相连，参考信号从第二T型结的第十六端口（5-1）输入，第二T型结的第十七端口（5-2）与第三T型结的第二十端口（6-2）相连，第十八端口（5-3）与第四T型结的第二十三端口（7-2）相连，第三T型结的第二十一端口（6-3）接第五间接加热式微波功率传感器，第四T型结的第二十四端口（7-3）接第六间接加热式微波功率传感器。

2.根据权利要求1所述的一种基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器，其特征是：T型结由CPW中央信号线（3）、传输线地线（4）以及空气桥（8）构成，其中空气桥用于地线之间的互连，为了方便空气桥的释放，在空气桥上制作了一组小孔阵列。

3.根据权利要求1所述的一种基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器，其特征是：间接加热式微波功率传感器由CPW中央信号线（3）、传输线地线（4）、终端电阻（9）、P型半导体臂（10）、N型半导体臂（11）、热电堆金属互连线（12）、输出Pad（13）构成，用于检测微波信号的功率大小，在终端电阻（9）和热电堆热端下方的Si衬底被刻蚀，用于增大传感器的灵敏度。

4.根据权利要求1所述的一种基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器，其特征是：开关由CPW中央信号线(3)、传输线地线(4)、悬臂梁(5)、悬臂梁锚区(6)和下拉电极(14)构成，下拉电极(14)上覆盖有一层Si₃N₄介电层(7)。